tailieunhanh - Fabricating ultra-thin silicon nitride membranes suspended on silicon wafer

Ultrathin silicon nitride SiNx membrane suspended on a silicon wafer is a popular twodimensional platform in MEMS applications. The unsupported membrane has a low thermal conductivity, is electrically insulated, and very robust against mechanical impact. Remarkably thin, it is difficult to fabricate and manipulate. Recently equipped with a dual chamber system for plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) and reactive ion etching, we calibrate it to deposit silicon nitride Si3N4, silicon dioxide SiO2, and to dry etch these materials. Based on the superb quality of Si3N4, we perform a through-wafer etch that creates suspended Si3N4 membranes. The recipe is reliable and reproducible. We analyze the membrane’s chemical composition and optical properties. Although created by PECVD, the membrane is so robust that it survives multiple lithography steps. It extends our capability to study thermal transport at the submicron scale as well as to fabricate micron size devices for MEMS applications. |

Bấm vào đây để xem trước nội dung
Tải xuống
TÀI LIỆU LIÊN QUAN

Ebook Micro electro mechanical systems: Part 3
646    12    1

Valve For Power Mems
2    39    0

Thread " SIMULATION AND FABRICATION OF PIEZOELECTRIC MEMS INKJET PRINT HEAD "
66    77    0

Fabricating ultra-thin silicon nitride membranes suspended on silicon wafer
8    33    2

MEMS Mechanical Sensors
281    96    0
TÀI LIỆU XEM NHIỀU

Một Case Về Hematology (1)

8    462336    61

Giới thiệu :Lập trình mã nguồn mở
14    25915    79

Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13    11335    542

Câu hỏi và đáp án bài tập tình huống Quản trị học
14    10543    466

Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”
3    9835    108

Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249    8885    1161

Tiểu luận: Nội dung tư tưởng Hồ Chí Minh về đạo đức
16    8499    426

Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8    8098    2279

Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)
152    7709    1788

Đề tài: Dự án kinh doanh thời trang quần áo nữ
17    7240    268
TỪ KHÓA LIÊN QUAN
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG

Báo cáo nghiên cứu khoa học " KẾT QUẢ NGHIÊN CỨU BƯỚC ĐẦU VỀ THIÊN ĐỊCH CHÂN KHỚP TRÊN CÂY THANH TRÀ Ở THỪA THIÊN HUẾ "
7    275    4    23-12-2024

Giáo trình phân tích phương trình vi phân viết dưới dạng thuật toán đặc tính của hệ thống p1
5    161    1    23-12-2024

Báo cáo nghiên cứu nông nghiệp " Field control of pest fruit flies in Vietnam "
14    189    4    23-12-2024

Bảng màu theo chữ cái – V

11    163    2    23-12-2024

Chương 10: Các phương pháp tính quá trình quá độ trong mạch điện tuyến tính
57    232    7    23-12-2024

Báo cáo y học: "The Factors Influencing Depression Endpoints Research (FINDER) study: final results of Italian patients with depressio"
9    147    1    23-12-2024

báo cáo khoa học: "Malignant peripheral nerve sheath tumor arising from the greater omentum: Case report"
4    140    1    23-12-2024

IT Audit: EMC’s Journey to the Private Cloud
13    157    1    23-12-2024

Phạm trù Chủ nghĩa cá nhân của tư tưởng phương Tây trong sự lý giải của Phan Khôi _1
9    128    0    23-12-2024

longman english 1
5    128    0    23-12-2024
TÀI LIỆU HOT

Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8    8098    2279

Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)
152    7709    1788

Ebook Chào con ba mẹ đã sẵn sàng
112    4406    1371

Ebook Tuyển tập đề bài và bài văn nghị luận xã hội: Phần 1
62    6273    1266

Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249    8885    1161

Giáo trình Văn hóa kinh doanh - PGS.TS. Dương Thị Liễu
561    3835    680

Giáo trình Sinh lí học trẻ em: Phần 1 - TS Lê Thanh Vân
122    3917    609

Giáo trình Pháp luật đại cương: Phần 1 - NXB ĐH Sư Phạm
274    4700    565

Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13    11335    542

Bài tập nhóm quản lý dự án: Dự án xây dựng quán cafe
35    4501    490