tailieunhanh - Fabricating ultra-thin silicon nitride membranes suspended on silicon wafer

Ultrathin silicon nitride SiNx membrane suspended on a silicon wafer is a popular twodimensional platform in MEMS applications. The unsupported membrane has a low thermal conductivity, is electrically insulated, and very robust against mechanical impact. Remarkably thin, it is difficult to fabricate and manipulate. Recently equipped with a dual chamber system for plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) and reactive ion etching, we calibrate it to deposit silicon nitride Si3N4, silicon dioxide SiO2, and to dry etch these materials. Based on the superb quality of Si3N4, we perform a through-wafer etch that creates suspended Si3N4 membranes. The recipe is reliable and reproducible. We analyze the membrane’s chemical composition and optical properties. Although created by PECVD, the membrane is so robust that it survives multiple lithography steps. It extends our capability to study thermal transport at the submicron scale as well as to fabricate micron size devices for MEMS applications. |

Bấm vào đây để xem trước nội dung
Tải xuống
TÀI LIỆU LIÊN QUAN

Ebook Micro electro mechanical systems: Part 3
646    12    1

Valve For Power Mems
2    39    0

Thread " SIMULATION AND FABRICATION OF PIEZOELECTRIC MEMS INKJET PRINT HEAD "
66    77    0

Fabricating ultra-thin silicon nitride membranes suspended on silicon wafer
8    33    2

MEMS Mechanical Sensors
281    96    0
TÀI LIỆU XEM NHIỀU

Một Case Về Hematology (1)

8    462285    61

Giới thiệu :Lập trình mã nguồn mở
14    24844    79

Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13    11281    542

Câu hỏi và đáp án bài tập tình huống Quản trị học
14    10508    466

Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”
3    9785    108

Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249    8876    1160

Tiểu luận: Nội dung tư tưởng Hồ Chí Minh về đạo đức
16    8463    426

Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8    8090    2279

Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)
152    7465    1763

Đề tài: Dự án kinh doanh thời trang quần áo nữ
17    7185    268
TỪ KHÓA LIÊN QUAN
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG

5 thói quen ăn uống hủy hoại hàm răng đẹp
5    159    1    23-11-2024

TÀI LIỆU TRẮC NGHIỆM LIPOPROTEIN

24    132    1    23-11-2024

longman english 1
5    119    0    23-11-2024

LINUX DEVICE DRIVERS 3rd edition phần 8
64    123    0    23-11-2024

đề cương ôn tập chương Vật lý 10 - Cơ học
6    120    0    23-11-2024

TỔNG HỢP SINH 10 - SINH HỌC TẾ BÀO BÀI 3,4,5
10    120    2    23-11-2024

NGUỒN GỐC CÂY KHOAI LANG
3    120    1    23-11-2024

Giáo án hình học lớp 6 - Tiết 9. KHI NÀO THÌ AM + MB = AB
6    157    1    23-11-2024

Giáo trình nghệ thuật thông tin part 1
14    141    0    23-11-2024

Luận văn: Nghiên cứu tổng hợp một số dẫn xuất Aryltetrazol có hoạt tính sinh học
86    104    2    23-11-2024
TÀI LIỆU HOT

Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8    8090    2279

Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)
152    7465    1763

Ebook Chào con ba mẹ đã sẵn sàng
112    4364    1369

Ebook Tuyển tập đề bài và bài văn nghị luận xã hội: Phần 1
62    6149    1258

Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249    8876    1160

Giáo trình Văn hóa kinh doanh - PGS.TS. Dương Thị Liễu
561    3786    680

Giáo trình Sinh lí học trẻ em: Phần 1 - TS Lê Thanh Vân
122    3909    609

Giáo trình Pháp luật đại cương: Phần 1 - NXB ĐH Sư Phạm
274    4614    562

Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13    11281    542

Bài tập nhóm quản lý dự án: Dự án xây dựng quán cafe
35    4447    490