tailieunhanh - Nghiên cứu ảnh hưởng của tải trọng nhỏ đến hệ số ma sát của cặp vật liệu Silic - Silic dùng trong hệ thống vi cơ điện tử

Mục tiêu nghiên cứu của bài viết này là đề xuất quy trình thí nghiệm xác định ảnh hưởng của tải trọng nhỏ tới hệ số ma sát của cặp vật liệu silic-silic bằng mô hình dạng chốt trên đĩa. | 044-048 1 1 2 1 - 2 - -11- -02-2017 Bài báo quy trình thí silic 3 còn c 2 SiO2 2 SiO2 cho T n . Abstract The paper proposes the experimental process to determine the impact of low load to frictional coefficient of silicon silicon couple by pin on disk model. The first experiment was performed with ranging of contact load from 2 mN to 30 mN. The coefficient of friction COF of Si Si couple varies from 0 15 to 0 16 and are considered to be constant and the COF of SiO2 SiO2 couple decreases from 0 35 to 0 24. When increasing the surface roughness the COF of SiO2 SiO2 couple changes from 0 15 to 0 30. Consequently the impact of surface force on frictional properties of materials have to be involved during the prediction of the frictional behavior of materials. The impact of surface roughness and different frictional behaviors of silicon between low and normal load are also mentioned in the second experiment. Keywords Micro-tribology Low load Coefficient of friction Silicon material 1 044-048 2 -3 và mô hình -3 i u ki n thí nghi m 2 044-048 2 o o 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 Fz o 044-048 2 . N 2 2 2 2 2 2 2 2 o 2 044-048 science engineering manufacturability and reliability. Acta Mater. 51 2003 5837 5866. 2 . B. Bhushan and S. Sundararajan Micro nano scale Tribology of MEMS Materials Lubricants and Devices. Springer 2001 . 3 . Yifeng Lu and Pengfei Gao Friction Measurement and lubrication in Rotatry Silicon MEMS Device. Chinese Academy of Sciences 2011. 4 . Bhushan B. Handbook of Micro Nanotribology. CRC Press LLC 1999. 5 . Mathew Mate C. Tribology on the small scale - A bottom up approach to friction lubrication and wear New York USA Oxford University Press 2008. 6 . Kaneko R. Microtribology today and tomorrow. 2 2 Wear 168 1993 1-5. 2 2 7 . Bhushan B. and . Kulkarni Effect of normal load on microscale friction measurements. Thin solid Films 278 1996 49-56. 2 2 8 . Rusu F. et al. Analysis of the surface effects on 2 2 adhesion in MEMS structures. Applied Surface .