tailieunhanh - Kỹ thuật màng mỏng-Vật lý: Phần 1

Cuốn sách Vật lý và kỹ thuật màng mỏng phần 1 cung cấp cho người đọc những kiến thức như: Nhập môn vật lý và kỹ thuật màng mỏng; Động học chất khí; Hấp phụ và ngưng tụ; Vật lý và kỹ thuật chân không cao. Mời các bạn cùng tham khảo! | Vật lý và kỹ thuật màng mỏng 1 2 Vật lý và kỹ thuật màng mỏng Mục lục Lời nói đầu v Chương 1. Nhập môn vật lý và kỹ thuật màng mỏng 1 . Giới thiệu chung 1 . Phương pháp lắng đọng pha hơi hoá học 2 CVD . Phương pháp hoá hoá l ý kết hợp 3 . Phương pháp bay hơi v ật lý PVD 3 . Các khái niệm và đại lượng cơ bản 3 . Kỹ thuật chân không và công nghệ màng mỏng 15 . Phún xạ 19 Chương 2. Động học chất khí 23 . Ý nghĩa vật lý của áp suất và nhiệt độ chất khí 23 . Các hàm phân bố của phân tử 25 . Tần số va chạm của phân tử với bề mặt 29 . Quãng đường tự do của phân tử khí 32 . Một số tính chất 35 . Nhiệt dung của hệ khí hai nguyên tử 35 . Khuếch tán 37 . Độ nhớt 38 . Độ dẫn nhiệt 42 . Dòng khí 43 . Chế độ dòng khí 43 . Dòng khí trong chế độ nhớt 44 . Dòng khí trong chế độ Kudsen- Dòng phân tử 45 . Độ dẫn của cấu trúc dẫn khí 47 Chương 3. Hấp phụ và ngưng tụ 49 . Hấp phụ khí 51 . Vì sao khí hấp phụ 51 . Thời gian lưu trú 53 Vật lý và kỹ thuật màng mỏng 3 . Đẳng nhiệt hấp phụ Langmuir 54 . Epitaxy lớp nguyên tử 57 . Áp suất hơi 62 suất hơi hoạt tính nhiệt 62 suất hơi của các nguyên tố 63 . Áp suất hơi của hợp kim và hợp chất 68 . Ngưng tụ từ pha hơi 71 . Ngưng tụ từ pha hơi đơn nhất 71 . Ngưng tụ các hợp chất bảo toàn hợp thức 73 . Hoá hơi nhanh các h ợp chất dễ phân ly 74 . Đồng bay hơi phương pháp Ba nhiệt độ 75 . Bốc bay phản ứng 77 Chương 4. Vật lý và kỹ thuật chân không cao 79 . Một số loại bơm chân không 79 . Bơm cơ học 80 . Bơm khuếch tán 86 . Nguyên lý chân không 89 . Tốc độ bơm 89 . Dòng hút khí 93 . Độ dẫn của hệ chân không 95 . Đặc tính chung của hệ chân không 96 . Các khái niệm động học cơ bản 96 . Các hiện tượng khử hấp phụ nhả khí và th ẩm thấu 101 . Đo chân không và đơn v ị áp suất 102 Chương 5. Lý thuyết bốc bay chân không 107 . Tốc độ bốc bay 107