tailieunhanh - Nghiên cứu cấu trúc và chế tạo LED cho bức xạ 385nm-415nm

Bài viết Nghiên cứu cấu trúc và chế tạo LED cho bức xạ 385nm-415nm trình bày về lý thuyết vật liệu bán dẫn Nitride, cơ chế phát xạ, cấu trúc đa giếng lượng tử cho phát xạ cực tím và tìm hiểu về thiết bị tạo màng mỏng theo kỹ thuật lắng động hóa học cho kim loại hữu cơ (MOCVD). Tác giả tính toán các thông số vật lý và quang cho một mô hình cấu trúc tiềm năng phát xạ cực tím qua phần mềm SiLENSe. | Tạp Chí Khoa Học Giáo Dục Kỹ Thuật số 18 2011 Đại Học Sư Phạm Kỹ Thuật Tp Hồ Chí Minh 53 NGHIÊN CỨU CẤU TRÚC VÀ CHẾ TẠO LED CHO BỨC XẠ 385nm-415nm THE STUDY OF STRUCTURAL AND FABRICATION FOR 385nm-415nm UV LED Nguyễn Văn Hiếu Trường ĐH Khoa Học Tự Nhiên ĐHQG TP. HCM ĐH Ritsumeikan Shiga Nhật Bản. Bùi Văn Quảng ĐH Sư Phạm Kỹ Thuật TP. HCM. TÓM TẮT Báo cáo này trình bày về lý thuyết vật liệu bán dẫn Nitride cơ chế phát xạ cấu trúc đa giếng lượng tử cho phát xạ cực tím và tìm hiểu về thiết bị tạo màng mỏng theo kỹ thuật lắng động hóa học cho kim loại hữu cơ MOCVD . Tác giả tính toán các thông số vật lý và quang cho một mô hình cấu trúc tiềm năng phát xạ cực tím qua phần mềm SiLENSe. Mô phỏng chế tạo cấu trúc UVLED bằng phần mềm Intellisuite cho mục đích giảng dạy. Cuối cùng tác giả đề xuất quy trình chế tạo UV LED tại Khu công nghệ cao SHTP nơi đang có thiết bị MOCVD duy nhất tại Việt Nam. Từ khóa UV LED MOCVD đa giếng lượng tử khử trùng. ABSTRACT This report focuses to find out the emission mechanisms for Nitride semiconductor multi-quantum wells structures for ultraviolet radiation study about thin film technology on the equipment of Metal- Organic Chemical Vapor Deposition MOCVD . We calculate the physical and optical properties for 2 potential UVLED structures by SiLENse software and other mathematical formulas. Their fabrication process also was studied by Intellisuite software which is the easy way for educational purpose. Finally we propose some ideas for the UVLED manufacture process in Saigon Hi-Tech Park SHTP Vietnam where owned the MOCVD equipment in Vietnam. Key words UVLED MOCVD Multi Quantum Wells MQWs Sterilizing. 1. GIỚI THIỆU Công nghệ bán dẫn công nghiệp vật liệu ngày UVLED 2-5 và nhiều ứng dụng của nó trong càng phát triển không ngừng và đang dần khẳng cuộc sống 6 7 . định tầm quan trong trong đời sống hiện nay. Con người với trình độ tri thức của mình đã mở Trong nghiên cứu này chúng tôi trình bày cấu ra những giới hạn mới khám phá ra những