tailieunhanh - Nghiên cứu ảnh hưởng của công suất phún xạ đến tính chất của màng TiN chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron

Trong nghiên cứu này, các mẫu màng TiN sẽ được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron. Trong đó, ảnh hưởng của công suất phún xạ tới tổ chức và tính chất của màng được nghiên cứu gồm: cấu trúc pha, hình thái học bề mặt - mặt cắt ngang, độ cứng và hệ số ma sát. | Journal of Science and Technology of 2 Công trình nghiên cứu Nghiên cứu ảnh hưởng của công suất phún xạ đến tính chất của màng TiN chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron Effect of sputtering power on the properties of TiN coatings deposited by the magnetron sputtering LƯƠNG VĂN ĐƯƠNG 1 NGUYỄN QUỐC THỊNH1 2 NGUYỄN NGỌC LINH1 ĐOÀN ĐÌNH PHƯƠNG1 ĐẶNG QUỐC KHÁNH2 HUỲNH XUÂN KHOA3 NGUYỄN MINH TUẤN4 1Viện Khoa học vật liệu Viện Hàn lâm Khoa học và Công nghệ Việt Nam Số 18. Hoàng Quốc Việt Cầu Giấy Hà Nội 2Viện Khoa học và Kỹ thuật vật liệu Trường Đại học Bách khoa Hà Nội Số 1 Đại Cồ Việt Hai Bà Trưng Hà Nội 3Khoa Công nghệ Cơ khí Trường Đại học Công nghiệp Thành phố Hồ Chí Minh 12 Nguyễn Văn Bảo Gò Vấp Tp. Hồ Chí Minh 4Viện Công nghệ Tổng cục Công nghiệp Quốc phòng Bắc Từ Liêm Hà Nội Email duong@ Ngày nhận bài 24 10 2022 Ngày duyệt đăng 15 12 2022 TÓM TẮT Trong nghiên cứu này màng TiN được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron trên nền đế hợp kim Ti6Al4V và đế Si. Ảnh hưởng của công suất phún xạ 150-300 W đến cấu trúc và tính chất cơ học của màng TiN được nghiên cứu. Kết quả nhiễu xạ Rơnghen cho thấy mẫu màng TiN có cấu trúc đơn pha mạng lập phương tâm mặt. Quan sát trên ảnh hiển vi điện tử quét cho thấy hạt của màng TiN có sự thay đổi từ dạng lá cây hoặc vảy sang dạng tứ diện nhiều mặt giống như kim tự tháp. Khi công suất phún xạ tăng kích thước hạt và tốc độ tạo màng tăng vì năng lượng bắn phá của các ion khí lên bề mặt bia lớn. Ngoài ra kết quả đo độ cứng chỉ ra mẫu màng TiN có độ cứng cao nhất 22 8 GPa 1 2 GPa được chế tạo tại công suất phún xạ 250 W và hệ số ma sát tăng từ 0 46 đến 0 61 khi công suất phún xạ tăng từ 150 lên 300 W. Từ khóa Màng TiN Ti6Al4V phún xạ magnetron dòng một chiều công suất phún xạ. ABSTRACT In this work the TiN coatings on Ti6Al4V and Si substrates were deposited by magnetron sputtering. The effect of sputtering powers on structure and mechanical properties of the TiN coatings was investigated. X-ray diffraction .