tailieunhanh - Tổng hợp và khảo sát đặc tính của đơn lớp MoS2 bằng phương pháp lắng đọng pha hơi hóa học sử dụng tiền chất hữu cơ (MOCVD)

Trong công trình này, màng mỏng 2D-MoS2 với độ dày chỉ đơn lớp nguyên tử được nghiên cứu tổng hợp thành công bằng phương pháp lắng đọng pha hơi hóa học sử dụng tiền chất hữu cơ (MOCVD), thực hiện trên một số loại vật liệu đế khác nhau, gồm có silic (Si), silic đioxit (Si/SiO2), than chì, và thiếc oxit pha tạp flo (FTO). | HNUE JOURNAL OF SCIENCE DOI Natural Sciences 2021 Volume 66 Issue 1 pp. 49-56 This paper is available online at http TỔNG HỢP VÀ KHẢO SÁT ĐẶC TÍNH CỦA ĐƠN LỚP MoS2 BẰNG PHƯƠNG PHÁP LẮNG ĐỌNG PHA HƠI HÓA HỌC SỬ DỤNG TIỀN CHẤT HỮU CƠ MOCVD Đỗ Lệ Quyên và Nguyễn Anh Đức Khoa Cơ sở Cơ bản Trường Đại học Hàng hải Việt Nam Tóm tắt. Gần đây những hiện tượng vật lí mới lạ xuất hiện trên cơ sở hiệu ứng giam giữ lượng tử phú cho vật liệu hai chiều 2D dạng kim loại chuyển tiếp dichalcogens TMDC chẳng hạn như MoS2 hay WSe2 thu hút được sự chú ý to lớn từ các nhà khoa học. Tuy nhiên việc chế tạo các màng mỏng 2D-TMDC còn nhiều hạn chế trong đó chủ yếu sử dụng tiền chất dạng vô cơ có nhiệt độ bay hơi lớn từ đó cho ra màng có phạm vi hẹp hơn nữa chỉ tập trung thực hiện trên một loại đế là Si SiO2. Trong công trình này màng mỏng 2D-MoS2 với độ dày chỉ đơn lớp nguyên tử được nghiên cứu tổng hợp thành công bằng phương pháp lắng đọng pha hơi hóa học sử dụng tiền chất hữu cơ MOCVD thực hiện trên một số loại vật liệu đế khác nhau gồm có silic Si silic đioxit Si SiO 2 than chì và thiếc oxit pha tạp flo FTO . Hình thái học và cấu trúc nguyên tử của bề mặt vật liệu được quan sát bằng kính hiển vi điện tử quét SEM và kính hiển vi điện tử truyền qua quét STEM . Tính chất dao động mạng tinh thể và tính chất chất quang học lần lượt được khảo sát bằng phổ tán xạ Raman và phổ huỳnh quang PL . Các kết quả cho thấy với cùng điều kiện chế tạo trong buồng CVD các màng 2D đều kết tinh tốt với cấu trúc lục giác dạng 2H tuy nhiên hình thái bề mặt và số lớp độ dày lại khác nhau tùy thuộc vào chất liệu của đế. Từ khóa vật liệu hai chiều đơn lớp MoS2 lắng đọng pha hơi hóa học sử dụng tiền chất hữu cơ. 1. Mở đầu Graphene vật liệu với độ dày chỉ cỡ kích thước của nguyên tử khi được phát hiện và đưa vào ứng dụng đã mở ra một thời đại công nghệ mới thời đại công nghệ hai chiều 2D 1-3 . Tuy nhiên bởi sở hữu vùng cấm năng lượng bằng không Eg 0 eV 4 nên graphene .