Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Sức khỏe - Y tế
Văn bản luật
Nông Lâm Ngư
Kỹ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Giới thiệu
Đăng ký
Đăng nhập
Tìm
Danh mục
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Y tế sức khỏe
Văn bản luật
Nông lâm ngư
Kĩ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Thông tin
Điều khoản sử dụng
Quy định bảo mật
Quy chế hoạt động
Chính sách bản quyền
Giới thiệu
Đăng ký
Đăng nhập
0
Trang chủ
Kỹ Thuật - Công Nghệ
Điện - Điện tử
Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian (Thanh Huyền)
Đang chuẩn bị liên kết để tải về tài liệu:
Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian (Thanh Huyền)
Việt Hùng
109
3
pdf
Đang chuẩn bị nút TẢI XUỐNG, xin hãy chờ
Tải xuống
Cảm biến áp suất mới MEMs dựa trên áp điện trở silicon, được phát triển để đo từ 20Bar tới trên 1000Bar cho những ứng dụng chuyển động trong không gian. Phần tử silicon có dạng ống với vị trí ngoài và cầu điện trở được mở rộng với tính ổn định cao để phát hiện áp suất do ứng suất mang lại, đã được xây dựng bởi chuẩn công nghệ silicon phẳng và quá trình riêng MEMs, như là liên kết nóng chảy silicon và thuật khắc điện tử. | THÉ GIỚI CẦM BIỂN Cảm biến áp suất MEM s Silicon cho không gian Cám biến áp suất mới MEMs dựa trên áp điện trở Silicon được phát triển để đo từ 20Bar tới trên lOOOBar cho những ứng dụng chuyển động trong không gian. Phần tử Silicon có dạng ống với vị trí ngoài và cầu điện trở được mở rộng với tính ổn định cao để phát hiện áp suãt do ứng suất mang lại đã được xây dựng bởi chuẩn công nghệ Silicon phẳng và quá trình riêng MEMs như là liên kết nóng cháy Silicon và thuật khắc điện tử. Cảm biến trên có triển vọng ứng dụng trong lĩnh vực gia công thô. Ưu điếm cúa nó là có sự khác biệt các thuộc tính quan trọng như kích thước và khoảng cách nhỏ mức độ cứng cùa kim loại trục đối xứng tín hiệu đầu ra lớn đáp ứng nhiệt độ và áp suất nhanh nhạy gia tốc thấp. Hiệu ứng trễ cũng đã được giảm thiểu bằng cách loại bỏ vỏ gây ra ứng suất bởi khoảng cách lớn giữa vùng cám nhận và vùng chết hoàn toàn chính xác trong phạm vi áp suất 700bar và dái nhiệt độ từ -70C tới 1350C là hơn 0 01 FS. Đặc điểm trễ và lặp lại được đo tới 10 ppm. 1. Giới thiệu. Nhà sản xuất Presens tập trung chính vào công nghiệp hoá phù hợp cho những ứng dụng cho áp suất trung bình và cao như áp suất dầu và gas có yêu cầu về độ chính xác ổn định lâu dài và khử độ rung. 2. Công nghệ Silicon Nguyên tắc đo lường được khai thác bởi Presens bao gồm sự hợp nhất cầu điện trở bên ngoài trên một cấu trúc Silicon dạng ống. Cho một õng thẳng ứng suất theo hướng ngang sẽ cao gấp đôi hướng trục sự khác biệt ứng suất giữa hai phương sẽ tương ứng với áp suất và có thế được đo lường bởi áp điện trở cúa cầu điện trở. Khi tác dụng áp lực bên ngoài đến phần tử ống là đế đo ứng suất nén luôn chống lại những áp lực gây hư hại. Phần tử càm biến được chế tạo bởi tiêu chuấn công nghệ mặt phẳng Silicon và tiêu chuẩn quá trình gia công kích thước nhỏ giống như hỗn hợp liên kết Silicon và khắc điện hoá. Cầu điện trở được chẽ tạo bởi một lớp epitaxial Silicon và kết nối điện với chuẩn lớp nhôm. Hình dạng mặt cắt của điện trở phố biến áp điện .
TÀI LIỆU LIÊN QUAN
Bài thuyết trình Tìm hiểu cảm biến áp suất đường ống nạp
Bài giảng Cảm biến áp suất
BÁO CÁO ĐO LƯỜNG CẢM BIẾN
Nghiên cứu ảnh hưởng của nhiệt độ khí thuốc đến phần tử nhạy cảm trong bài toán thiết kế cảm biến đo áp suất động cơ tên lửa nhiên liệu rắn hỗn hợp
Đồ án: Đo áp suất sử dụng cảm biến MPX5100 tự động chuẩn độ
CẢM BIẾN CÔNG NGHIỆP - CHƯƠNG 8 CẢM BIẾN ĐO ÁP SUẤT
Sơ lược về cảm biến áp suất
Giáo trình đo lường cảm biến toàn tập - chương VIII - Cảm biến đo áp suất chất lưu
Cảm biến áp suất MEMS silicon
Cảm biến áp suất
crossorigin="anonymous">
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.