Đang chuẩn bị liên kết để tải về tài liệu:
Bài thuyết trình Các phương pháp thực nghiệm: Phương pháp bốc bay
Đang chuẩn bị nút TẢI XUỐNG, xin hãy chờ
Tải xuống
Bài thuyết trình Các phương pháp thực nghiệm: Phương pháp bốc bay giới thiệu về phương pháp PVD, bốc bay nhiệt điện trở, yêu cầu của hệ bốc bay, nguồn vật liệu làm nguồn nhiệt bốc bay, nguồn bốc bay nhiệt chùm điện tử và một số nội dung khác. | CÁC PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY NGƯỜI TRÌNH BÀY T rr_Ạ_ Lê Trân Phương pháp PVD Lắng động hơi vật lý PVD là quá trình màng mỏng vật liệu hình thành trên đế theo những bước sau 1. Vật liệu cần lắng đọng được chuyển thành hơi bởi phương tiện vật lý 2. Hơi được chuyển ngang qua vùng áp suất thấp từ nguồn đến đế 3. Hơi ngưng tụ trên đế và hình thành nên màng. Lắng đọng hơi vật lý PVD Pha khí Chuyên Pha khí Pha ngõng tui loùng va0 raén Pha ngõng tui raén