tailieunhanh - Bài thuyết trình: Các phương pháp chế tạo màng

Bài thuyết trình "Các phương pháp chế tạo màng" cung cấp cho các bạn những kiến thức về phương pháp ngưng tụ vật lý, phương pháp ngưng tụ hóa học, phương pháp bốc bay chân không, phương pháp phún xạ. Với các bạn chuyên ngành Hóa học thì đây là tài liệu tham khảo hữu ích. | TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN BỘ MÔN VẬT LÝ ỨNG DỤNG GVHD: TS. Lê Vũ Tuấn Hùng HVTH: Phan Trung Vĩnh QUANG HỌC ỨNG DỤNG CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO Phương pháp ngưng tụ vật lý (PVD) Phương pháp ngưng tụ hóa học (CVD) CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG Physical Vapor Deposition Chemical Vapor Deposition Với một tác nhân cung cấp năng lượng, vật liệu cần phủ màng bị hóa hơi. Các hạt vật liệu di chuyển Các phản ứng hình thành hợp chất (nếu có), xảy ra trên đường đi Các hạt vật liệu ngưng tụ trên đế → Màng Với một tác nhân cung cấp năng lượng, vật liệu cần phủ màng bị hóa hơi. Các hạt vật liệu di chuyển Một chất khí được đưa vào (precursor) Các hạt vật liệu ngưng tụ trên đế, phản ứng với chất khí → Hợp chất → Màng Tđế < 5000C Tđế ≈ 900 – 12000C Phương pháp bốc bay chân không Phương pháp phún xạ HAI PHƯƠNG PHÁP PVD PHỔ BIẾN 1. Phương pháp bốc bay chân không (Evaporation) Phương pháp bốc bay trực tiếp Thermal Evaporation: Bốc bay nhiệt Phương pháp bốc bay gián tiếp Bốc bay nhiệt điện trở Bốc bay bằng chùm điện tử Bay hơi phản ứng (RE) Mạ ion Electron-beam Evaporation: Bốc bay bằng chùm điện tử Ion Plating: Mạ ion Không kích hoạt Có kích hoạt (ARE) Reacting Evaporation: Bay hơi phản ứng Activated Reactive Evaporation: có kích hoạt Phương pháp bốc bay trực tiếp BỐC BAY NHIỆT ĐIỆN TRỞ Nguyên tắc chung Vật liệu (rắn, lỏng, bột) được cung cấp E → hóa hơi Hơi vật liệu bốc lên phía trên Cuối cùng, hơi vật liệu ngưng tụ trên đế, phân bố và kết tinh Nhiệt Chùm e Laser Hồ quang Tác nhân hóa hơi là nguồn nhiệt, mẫu được giữ bằng điện trở BỐC BAY BẰNG CHÙM e Tác nhân hóa hơi là chùm e có động năng lớn BỐC BAY NHIỆT ĐIỆN TRỞ Một hệ bốc bay chân không gồm 4 bộ phận chính: Hệ bơm chân không Buồng chân không Nguồn nhiệt Hệ giữ & điều chỉnh Tđế Mẫu được giữ bằng “giá điện trở”, được đốt nóng đến hóa hơi bằng dòng điện theo ĐL Joule-Lenz: Sơ đồ một hệ bốc bay chân không đơn giản Các loại “giá điện trở”: dây (a-d), thuyền (e-g) và chén (h) Nhiệt | TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN BỘ MÔN VẬT LÝ ỨNG DỤNG GVHD: TS. Lê Vũ Tuấn Hùng HVTH: Phan Trung Vĩnh QUANG HỌC ỨNG DỤNG CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO Phương pháp ngưng tụ vật lý (PVD) Phương pháp ngưng tụ hóa học (CVD) CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG Physical Vapor Deposition Chemical Vapor Deposition Với một tác nhân cung cấp năng lượng, vật liệu cần phủ màng bị hóa hơi. Các hạt vật liệu di chuyển Các phản ứng hình thành hợp chất (nếu có), xảy ra trên đường đi Các hạt vật liệu ngưng tụ trên đế → Màng Với một tác nhân cung cấp năng lượng, vật liệu cần phủ màng bị hóa hơi. Các hạt vật liệu di chuyển Một chất khí được đưa vào (precursor) Các hạt vật liệu ngưng tụ trên đế, phản ứng với chất khí → Hợp chất → Màng Tđế < 5000C Tđế ≈ 900 – 12000C Phương pháp bốc bay chân không Phương pháp phún xạ HAI PHƯƠNG PHÁP PVD PHỔ BIẾN 1. Phương pháp bốc bay chân không (Evaporation) Phương pháp bốc bay trực tiếp Thermal Evaporation: Bốc bay nhiệt Phương pháp bốc bay gián tiếp Bốc bay nhiệt

• Hoá học
• Bài thuyết trình
• Các phương pháp chế tạo màng
• Phương pháp chế tạo màng
• Chế tạo màng
• Phương pháp ngưng tụ vật lý
• Phương pháp ngưng tụ hóa học
• Kỹ năng thuyết trình
• Thuyết trình trước công chúng
• Hướng dẫn thuyết trình trước đám đông
• Tham khảo kỹ năng thuyết trình
• Học cách thuyết trình
• Tìm hiểu kỹ năng thuyết trình
• Cấu trúc bài thuyết trình
• Kinh nghiệm làm bài thuyết trình
• Phương pháp thuyết trình
• Bài thuyết trình ấn tượng
• Các bước xây dựng bài thuyết trình
• Kỹ năng thuyết trình và thuyết phục
• Bài giảng Kỹ năng thuyết trình
• Giao tiếp phi ngôn từ
• Mục tiêu thuyết trình
• Bài thuyết trình pháp luật đại cương
• Bài thuyết trình vi phạm pháp luật
• Bài thuyết trình trách nhiệm pháp lý
• Thuyết trình vi phạm hành chính
• Thuyết trình vi phạm hình sự
• Thuyết trình dân sự
• Bài thuyết trình mẫu
• Cách thuyết trình
• Thuyết trình là gì
• Kỹ năng phản biện
• Cách làm bài thuyết trình
• Bí quyết thuyết trình
• Bài giảng Thuyết trình
• Nghệ thuật thuyết trình
• Yếu tố cơ bản của bài thuyết trình
• Phương tiện hỗ trợ thuyết trình
• Nghệ thuật thuyết trình hiệu quả
• Cách lựa chọn chủ đề bài thuyết trình
• Cấu trúc nội dung bài thuyết trình
• Mô hình phần thân bài thuyết trình
• Đề tài nghiên cứu vật lý
• Luận văn vật lý
• Lý thuyết tương đối
• Bài thuyết trình điện động lực học
• Bài thuyết trình vật lý lý thuyết
• Bài thuyết trình lý thuyết tương đối
• kinh nghiệm thuyết trình
• nghệ thuật thuyết trình thành công
• bí quyết thuyết trình hiệu quả
• cách thuyết trình trước đám đông
• Chuẩn bị cho bài thuyết trình
• tạo bài thuyết trình
• Thuyết trình hiệu quả với PowerPoint
• Thuyết trình với Power Point
• mẹo vặt trong thuyết trình
• thủ thuật thuyết trình
• kĩ năng thuyết trình hiệu quả
• Bài diễn thuyết
• Cách tổ chức bài diễn thuyết
• Chuẩn bị thuyết trình hiệu quả
• Kỹ thuật soạn slide thuyết trình
• Kết thúc thuyết trình ấn tượng
• Bài thuyết trình Kỹ năng mềm
• Phần mềm Prezi
• Phần mềm thuyết trình Powerpoint
• Công cụ thuyết trình
• Đề tài Phương tiện thuyết trình
• Kỹ thuật thuyết trình
• Sai lầm khi thuyết trình
• Soạn nội dung thuyết trình
• Cách thực hiện bài thuyết trình
• Bài thuyết trình hiệu quả
• Lý thuyết chất rắn và bán dẫn
• Bài thuyết trình lý thuyết chất rắn
• Đề tài lý thuyết chất rắn
• cách trình bày thuyết trình
• hướng dẫn thuyết trình
• thực hành thuyết trình
• cách tạo slide thuyết trình
• tạo slide thuyết trình ấn tượng
• Đặc điểm bài thuyết trình
• Phương tiện thuyết trình
• Thuyết trình bằng Overhead Projector
• Kỹ năng mềm
• Bài giảng Giao tiếp kinh doanh và thuyết trình
• Giao tiếp kinh doanh và thuyết trình
• Thuyết trình kinh doanh
• Hình thức thuyết trình trong kinh doanh
• Phân tích người thuyết trình
• bí quyết khi thuyết trình
• khái quát về thuyết trình
• xây dựng bài thuyết trình
• kỹ năng thuyết phục
• Thuyết trình thành công
• Thuyết trình trước đám đông
• Kỹ năng thuyết trình hiệu quả
• Khả năng thuyết trình
• Bí quyết thành công khi thuyết trình
• Thuyết trình hiệu quả