Đang chuẩn bị liên kết để tải về tài liệu:
Bài thuyết trình Phương pháp phún xạ Magnetron RF trong chế tạo màng mỏng
Đang chuẩn bị nút TẢI XUỐNG, xin hãy chờ
Tải xuống
Dưới đây là bài thuyết trình Phương pháp phún xạ Magnetron RF trong chế tạo màng mỏng. Mời các bạn tham khảo bài thuyết trình để nắm bắt được những nội dung về phương pháp phún xạ (khái niệm, hệ số phún xạ, phún xạ Magnetron); phún xạ Magnetron RF, khó khăn trong phương pháp RF, so sánh phún xạ Magnetron RF với DC. | PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON RF TROnG CHẾ TẠO MÀNG MỎNG GVHD PGS. TS. Lê Văn Hiếu Học viên Phùng Nguyễn Thái Hằng NỘI DUNG I. PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ 1.1 Phún xạ là gì 1.2 Hệ số phún xạ 1.3 Phún xạ Magnetron II. PHÚN XẠ MAGNETRON RF 11.1 Khái niệm 11.2 Cấu tạo 11.3 Sơ đồ hoạt động 11.4 Nguyên tắc hoạt động III. KHÓ KHĂN TRONG PP RF IV. SO SÁNH PHÚN XẠ MAGNETRON RF VỚI DC 1.1 Khái niệm về phún .