Đang chuẩn bị liên kết để tải về tài liệu:
Kỹ thuật vi điện tử - ThS. Vũ Chiến Thắng

(NB) Cuốn sách Bài giảng Kỹ thuật vi điện tử gồm có 4 chương. Chương 1: Cơ sở vật lý, Chương 2: Cấu trúc mạch vi điện tử, Chương 3: Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử, Chương 4: Một số họ vi mạch cơ bản. Đây là tài liệu học tập, giảng dạy bổ ích của học viên, sinh viên, giảng viên khoa Công nghệ Thông tin, Điện tử - Viễn thông. | KHOA CÔNG NGHỆ THÔNG TIN Bộ MÔN ĐIỆN TỬ - VIẼN THÔNG THS. VŨ CHIÉN THẮNG KỸ THUẶT VI ĐIỆN TỬ TẬP BÀI GIẢNG Lưu hành nội bộ THÁI NGUYÊN 9 2010 1 MỤC LỤC MỤC LỤC. .1 Chương 1 Cơ SỞ VẬT LÝ.4 1.1. Cấu trúc tinh thể.4 1.2. Cấu trúc vùng năng lượng.6 1.3. Bán dẫn tinh khiết.7 1.4. Bán dẫn loại P.8 1.5. Bán dẫn loạiN.9 1.6. Độ linh động độ dẫn.11 Chương 2 CẤU TRÚC MẠCH VI ĐIÊN TỬ.13 2.1. Chuyển tiếp PN.13 2.2. Công nghệ lưỡng cực.15 2.2.1. Cách điện bằng chuyển tiếp PN.15 2.2.2. Cách điện bằng Oxide.16 2.2.3. Transistor lưỡng cực.17 2.2.4. Diode điện trở và tụ điện.21 2.3. Công nghệ CMOS.24 2.3.1. Mơ đàu.24 2.3.2. Quá trình chế tạo.26 2.3.3. Chế tạo giếng.27 2.3.4. Điện cực cổng.28 Chương 3 CÔNG NGHẸ CHÉ TẠO MẠCH VI ĐIÊN TỬ.30 3.1. Chế tạo phiến bán dẫn.30 3.1.1. Quy trình chế tạo phiến bán dẫn silic.30 3.1.2. Chế tạo Silic đa tinh thể.31 3.1.3. Che tạo Silic đơn tinh thể.32 3.1.4. Chế tạo phiến bán dẫn.37 3.1.5. Phòng sạch.37 3.2. Oxy hóa.49 3.2.1. GĨỚĨ thiệu công nghệ Oxy hoá.49 3.2.2.Oxy hóa nhiệt.49 3.3. Quang khắc.53 3.3.1. Khái niệm.53 3.3.3. Các khái niệm cơ bản.54 3.3.4. Các giai đoạn của quá trình quang khắc.56 3.4. Ăn mòn.60 3.4.1. Ăn mòn ướt.61 3.4.2. Ăn mòn khô.66 3.5. Khuếch tán.68 3.6. Cấy ion.69 3.6.1. Mởđầu.69 3.6.2. Thiết bị cấy ion .71 3.6.3. Mặt nạ dùng cho cấy ion.72 3.6.4. ủ nhiệt.72 3.7. Epitaxy.72 2 3.7.1. Mở đầu. 72 3.7.2. Làm sạch phiến và tẩy lớp Oxit tự nhiên.73 3.7.2. Nhiệt động học quá trình Epitaxy pha hơi.73 3.7.3. Phatạp. . . . .75 3.7.4. Khuyết tật trong lớp Epitaxy.75 3.7.5. Epitaxy GaAs.76 3.7.6. Epitaxy chùm phân tử.77 3.8. Các phương pháp tạo màng mỏng Bay hơi phún xạ.81 3.8.1. Mở đầu .81 3.8.2. Bay hơi trong chân không.82 3.8.3. Phún xạ.91 3.9. Kết tủa hóa học pha hơi CVD.96 3.9.1. Mở đầu.96 3.9.2. Hệ CVD đơn giản để chế tạo màng Si. 96 3.9.3. Chế tạo màng điện môi bằng CVD áp suất khí quyển.97 3.9.4. Chế tạo màng điện môi và bán dẫn bằng CVD áp suất thấp.98 3.9.6. Chế tạo màng kim loại bằng CVD.99 Chương 4 MỘT SỐ HỌ VI MẠCH Cơ .