tailieunhanh - Kỹ thuật vi điện tử - ThS. Vũ Chiến Thắng

(NB) Cuốn sách Bài giảng Kỹ thuật vi điện tử gồm có 4 chương. Chương 1: Cơ sở vật lý, Chương 2: Cấu trúc mạch vi điện tử, Chương 3: Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử, Chương 4: Một số họ vi mạch cơ bản. Đây là tài liệu học tập, giảng dạy bổ ích của học viên, sinh viên, giảng viên khoa Công nghệ Thông tin, Điện tử - Viễn thông. | KHOA CÔNG NGHỆ THÔNG TIN Bộ MÔN ĐIỆN TỬ - VIẼN THÔNG THS. VŨ CHIÉN THẮNG KỸ THUẶT VI ĐIỆN TỬ TẬP BÀI GIẢNG Lưu hành nội bộ THÁI NGUYÊN 9 2010 1 MỤC LỤC MỤC LỤC. .1 Chương 1 Cơ SỞ VẬT . Cấu trúc tinh . Cấu trúc vùng năng . Bán dẫn tinh . Bán dẫn loại . Bán dẫn . Độ linh động độ Chương 2 CẤU TRÚC MẠCH VI ĐIÊN . Chuyển tiếp . Công nghệ lưỡng . Cách điện bằng chuyển tiếp . Cách điện bằng . Transistor lưỡng . Diode điện trở và tụ . Công nghệ . Mơ . Quá trình chế . Chế tạo . Điện cực Chương 3 CÔNG NGHẸ CHÉ TẠO MẠCH VI ĐIÊN . Chế tạo phiến bán . Quy trình chế tạo phiến bán dẫn . Chế tạo Silic đa tinh . Che tạo Silic đơn tinh . Chế tạo phiến bán . Phòng . Oxy . GĨỚĨ thiệu công nghệ Oxy hóa . Quang . Khái . Các khái niệm cơ . Các giai đoạn của quá trình quang . Ăn . Ăn mòn . Ăn mòn . Khuếch . Cấy . . Thiết bị cấy ion .71 . Mặt nạ dùng cho cấy . ủ . 2 . Mở đầu. 72 . Làm sạch phiến và tẩy lớp Oxit tự . Nhiệt động học quá trình Epitaxy pha . Phatạp. . . . .75 . Khuyết tật trong lớp . Epitaxy . Epitaxy chùm phân . Các phương pháp tạo màng mỏng Bay hơi phún . Mở đầu .81 . Bay hơi trong chân . Phún . Kết tủa hóa học pha hơi . Mở . Hệ CVD đơn giản để chế tạo màng Si. 96 . Chế tạo màng điện môi bằng CVD áp suất khí . Chế tạo màng điện môi và bán dẫn bằng CVD áp suất . Chế tạo màng kim loại bằng Chương 4 MỘT SỐ HỌ VI MẠCH Cơ .