Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Sức khỏe - Y tế
Văn bản luật
Nông Lâm Ngư
Kỹ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Giới thiệu
Đăng ký
Đăng nhập
Tìm
Danh mục
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Y tế sức khỏe
Văn bản luật
Nông lâm ngư
Kĩ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Thông tin
Điều khoản sử dụng
Quy định bảo mật
Quy chế hoạt động
Chính sách bản quyền
Giới thiệu
Đăng ký
Đăng nhập
0
Trang chủ
Luận Văn - Báo Cáo
Báo cáo khoa học
Báo cáo hóa học: " Polycrystallization effects on the nanoscale electrical properties of high-k dielectrics"
Đang chuẩn bị liên kết để tải về tài liệu:
Báo cáo hóa học: " Polycrystallization effects on the nanoscale electrical properties of high-k dielectrics"
Bá Phước
46
9
pdf
Đang chuẩn bị nút TẢI XUỐNG, xin hãy chờ
Tải xuống
Tuyển tập báo cáo các nghiên cứu khoa học quốc tế ngành hóa học dành cho các bạn yêu hóa học tham khảo đề tài: Polycrystallization effects on the nanoscale electrical properties of high-k dielectrics | Lanza et al. Nanoscale Research Letters 2011 6 108 http www.nanoscalereslett.eom content 6 1 108 o Nanoscale Research Letters a SpringerOpen Journal NANO EXPRESS Open Access Polycrystallization effects on the nanoscale electrical properties of high-k dielectrics Mario Lanza Vanessa Iglesias Marc Porti Montse Nafria Xavier Aymerich Abstract In this study atomic force microscopy-related techniques have been used to investigate at the nanoscale how the polycrystallization of an Al2O3-based gate stack after a thermal annealing process affects the variability of its electrical properties. The impact of an electrical stress on the electrical conduction and the charge trapping of amorphous and polycrystalline Al2O3 layers have been also analyzed. Introduction To reduce the excess of gate leakage currents in metal-oxide-semiconductor MOS devices the ultra thin SiO2 gate oxide is replaced by other high-k dielectric materials 1 . However high-k-based devices still show some drawbacks and therefore to have a better knowledge of their properties and to improve their performance a detailed electrical characterization is required. Many researches have been devoted to the study of the electrical characteristics of high-k gate dielectrics mainly using standard wafer level characterization techniques on fully processed MOS capacitors or transistors 1-4 . However since the lateral dimensions of complementary MOS devices are shrinking to a few tens of nanometers or below for a detailed and profound characterization advanced methods with a large lateral resolution are required. In this direction conductive atomic force microscope CAFM as demonstrated for SiO2 and other insulators 5-14 is a very promising tool which allows for a nanometer-resolved characterization of the electrical and topographical properties of the gate oxide. Characterization at the nanoscale allows us to study which factors determine the electrical properties of the dielectric stack and details on how they affect .
TÀI LIỆU LIÊN QUAN
Báo cáo nghiên cứu khoa học: "Nhân vật tôi trong một số truyện ngắn có tính chất hồi ký của Lỗ Tấn"
Báo cáo nghiên cứu khoa học: "Phát triển có hiệu quả các khu công nghiệp ở Nghệ An nhằm đẩy nhanh tiến trình công nghiệp hoá, hiện đại hoá."
Báo cáo nghiên cứu khoa học: "Phân lập và xác định cấu trúc một số hợp chất từ nụ và hoa cây sắn thuyền (syzygium resinosum (Gagnep) Merr. et Perry) ở Thanh Hoá."
Báo cáo hóa học: "Research Article Decentralized Turbo Báo cáo hóa học: "Bayesian Compressed Sensing with Application to UWB Systems"
Hiệu lực của một số thuốc bảo vệ thực vật hóa học trừ nấm đối với bệnh rụng lá cao su (Corynespora cassiicola) trên đồng ruộng tại Thừa Thiên Huế
Báo cáo khoa học: " NGHIÊN CỨU CHIẾT TÁCH, XÁC ĐỊNH THÀNH PHẦN HÓA HỌC CỦA HỢP CHẤT TANIN TỪ LÁ CHÈ XANH VÀ KHẢO SÁT TÍNH CHẤT ỨC CHẾ ĂN MÒN KIM LOẠI CỦA NÓ"
Báo cáo khoa học: " NGHIÊN CỨU VÀ XÁC ĐỊNH THÀNH PHẦN HÓA HỌC CỦA LÁ DỨA THƠM Ở HUYỆN ĐẠI LỘC-QUẢNG NAM"
Báo cáo khoa học: "NGHIÊN CỨU CHIẾT TÁCH, XÁC ĐỊNH THÀNH PHẦN MỘT SỐ HỢP CHẤT HÓA HỌC TRONG LÁ GAI XANH"
Báo cáo môn hoa kiểng: 6 loại hoa trồng trong chậu
Giáo trình Bảo quản nông sản sau thu hoạch (Nghề: Khoa học cây trồng - Cao đẳng): Phần 2 - Trường Cao đẳng Cộng đồng Đồng Tháp
crossorigin="anonymous">
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.