tailieunhanh - Chuyên đề: Báo cáo kết quả chế tạo màng ITO/CdS/TiO2 cấu trúc nano bằng phương pháp bốc hơi chân không và ủ nhiệt và khảo sát cấu trúc nano của màng ITO/CdS/TiO2

Hiện nay có rất nhiều phương pháp khác nhau để chế tạo các vật liệu ở dạng màng mỏng với chiều dày từ vài nanomet đến vài micromet, thậm chí là có thể chế tạo được màng mỏng với chiều dày chỉ vài lớp nguyên tử. | VIỆN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ VIỆT NAM VIỆN KHOA HỌC VẬT LIỆU ĐỀ TÀI BƯỚC ĐẦU NGHIÊN CỨU HIỆU ỨNG QUANG HÓA CỦA MÀNG NANO ITO CdS TiO2 ZnO ỨNG DỤNG TRONG XỬ LÝ MÔI TRƯỜNG Ô NHIỄM CHẤT HỮU CƠ Báo cáo Báo cáo kết quả chế tạo màng ITO CdS TiO2 cấu trúc nano bằng phương pháp bốc hơi chân không và ủ nhiệt và khảo sát cấu trúc nano của màng ITO CdS TiO2 Người thực hiện Nguyễn Thúy Vân Đơn vị Phòng Vật liệu và Ứng dụng Quang sợi Viện Khoa học Vật liệu - Viện Khoa học và Công nghệ Việt Nam Tháng 5 2012 Nghiên cứu chế tạo màng mỏng TiO2 trên màng FTO ITO hoặc thạch anh quartz có độ dày độ xốp và độ truyền qua mong muốn. I. Các phương pháp chế tạo màng mỏng Hiện nay có rất nhiều phương pháp khác nhau để chế tạo các vật liệu ở dạng màng mỏng với chiều dày từ vài nanomet đến vài micromet thậm chí là có thể chế tạo được màng mỏng với chiều dày chỉ vài lớp nguyên tử. Các phương pháp được sử dụng phổ biến hiện nay là - Lắng đọng pha hơi hóa học Chemical Vapour Deposition - CVD - Lắng đọng pha hơi vật lý Physical Vapour Deposition - PVD - Các phương pháp sol-gel điện hóa quay phủ ly tâm . Căn cứ vào điều kiện thực tế của Việt Nam chúng tôi chọn ba phương pháp đó là - Lắng đọng pha hơi vật lý sử dụng hai phương pháp bốc bay nhiệt và bốc bay chùm tia điện tử - Phương pháp quay phủ ly tâm. - Phương pháp phún xạ sputtering 1. Phương pháp bốc bay nhiệt Bốc bay nhiệt sử dụng nguồn nhiệt trực tiếp nhờ thuyền điện trở còn gọi là bốc bay nhiệt. Thuyền điện trở thường dùng là các lá volfram tantan molipden hoặc dây xoắn thành nhỏ. Vật liệu cần bốc bay còn gọi là vật liệu gốc được đặt trực tiếp trên thuyền. Buồng được hút chân không với áp suất trong khoảng 10-3-10-6 torr. Khi thuyền được đốt nóng lên đến nhiệt độ cao bằng hoặc hơn nhiệt độ hóa hơi của vật liệu gốc thì các phần tử hóa hơi sẽ bay ra và lắng đọng trên để. Đây là phương pháp có nhiều thuận tiện có nhiều ưu điểm để chế tạo các màng mỏng kim loại đơn chất như nhôm bạc vàng. Khi bốc bay hợp chất nhiều thành phần phương pháp này có