tailieunhanh - luận văn:NGHIÊN CỨU QUY TRÌNH CÔNG NGHỆ QUANG KHẮC TRONG PHÒNG SẠCH SỬ DỤNG CHẾ TẠO LINH KIỆN KÍCH THƯỚC MICRO

Quang khắc là kỹ thuật đã được phát triển từ đầu thế kỷ 20, và được sử dụng rộng rãi nhất trong công nghiệp bán dẫn để chế tạo các vi mạch điện tử trên các phiến Si. Ngoài ra, quang khắc được sử dụng trong ngành khoa học và công nghệ vật liệu để chế tạo các chi tiết vật liệu nhỏ, chế tạo các linh kiện vi cơ điện tử (MEMS). Có thể nói quang khắc là khâu bắt buộc trong ngành chế tạo vi linh kiện. | ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ Trần Anh Quang NGHIÊN CỨU QUY TRÌNH CÔNG NGHỆ QUANG KHẮC TRONG PHÒNG SẠCH SỬ DỤNG CHẾ TẠO LINH KIỆN KÍCH THƯỚC MICRO KHOÁ LUẬN TỐT NGHIỆP ĐẠI HỌC HỆ CHÍNH QUY Ngành Vật Lý Kỹ Thuật HÀ NỘI - 2011 ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ Trần Anh Quang NGHIÊN CỨU QUY TRÌNH CÔNG NGHỆ QUANG KHẮC TRONG PHÒNG SẠCH SỬ DỤNG CHẾ TẠO LINH KIỆN KÍCH THƯỚC MICRO KHOÁ LUẬN TỐT NGHIỆP ĐẠI HỌC HỆ CHÍNH QUY Ngành Vật Lý Kỹ Thuật Cán bộ hướng dẫn Ths. Bùi Đình Tú HÀ NỘI - 2011 Lời cảm ơn Trước hết em xin chân thành gửi lời cảm ơn tới Thạc sĩ Bùi Đình Tú. Người thầy đã tận tình hướng dẫn chỉ bảo em những kiến thức còn thiếu hụt trong suốt quá trình thực nghiệm và viết khóa luận. Cùng với sự ủng hộ sâu sắc của thầy đã giúp em hoàn thành khóa luận này. Em xin gửi lời cảm ơn sâu sắc tới Thầy cô cùng các anh chị trong Phòng thí nghiệm công nghệ Nano đã giúp đỡ và tạo điều kiện trong suốt thời gian em làm việc tại phòng. Cuối cùng em xin gửi lời cảm ơn tới các thầy các cô trong khoa Vật Lý Kỹ Thuật và Công Nghệ Nano cùng toàn thể thầy cô trong trường Đại Học Công nghệ -Đại Học Quốc Gia Hà Nội đã giúp đỡ tạo điều kiện và cung cấp kiến thức khoa học cơ bản trong suốt bốn năm học qua. Sinh viên Trần Anh .

• Điện-Điện tử-Viễn thông
• luận văn tốt nghiệp
• luận văn kĩ thuật
• vật lý kỹ thuật
• Ứng dụng của quang khắc
• Kỹ thuật quang khắc
• Khắc hình bằng tia X
• Chất cảm quang
• Cách viết luận văn tốt nghiệp
• Dàn bài luận văn tốt nghiệp
• Luận văn tốt nghiệp y khoa
• Xây dựng chủ đề cho luận văn tốt nghiệp
• Cách đặt tiêu đề luận văn tốt nghiệp
• Tóm tắt Luận văn tốt nghiệp
• Sử dụng Struts
• Website quản lý khóa luận tốt nghiệp
• Mô hình Struts framework 1
• Xây dựng quản lý khóa luận tốt nghiệp
• Thiết kế quản lý khóa luận tốt nghiệp
• Sổ tay dành cho sinh viên
• Sổ tay bậc đại học
• Hướng dẫn làm luận văn tốt nghiệp
• Luận văn tốt nghiệp đại học
• Điều kiện nhận luận văn tốt nghiệp
• Hình thức luận văn tốt nghiệp
• Khoá luận tốt nghiệp
• Sư phạm Ngữ Văn
• Khoá luận tốt nghiệp Sư phạm Ngữ Văn
• Mô hình dạy học môn ngữ Văn
• Phương pháp dạy văn nghị luận
• Mô hình vòng tròn thảo luận văn chương
• báo cáo tốt nghiệp
• bảo vệ luận văn
• bài báo cáo thực tập
• đồ án tốt nghiệp
• tiểu luận
• luận văn báo cáo
• trình bày luận văn
• đề án tốt nghiệp
• báo cáo thực tập tốt nghiệp
• luận văn thực tập tốt nghiệp
• báo cáo thực tập tour xuyên việt
• Luận văn tốt nghiệp Ngữ văn
• Luận văn tốt nghiệp Văn hóa phương Tây
• Nghệ thuật bi kịch của Shakespear
• Vở bi kịch của Shakespear
• Luận văn tốt nghiệp Văn học Phương Tây
• Tác phẩm Thần khúc của Đantê
• Đằng sau bức màn huyền thoại trong Thần khúc
• Luận văn tốt nghiệp môn Văn học Việt Nam
• Truyện ngắn của Nguyễn Minh Châu
• Nghệ thuật xây dựng nhân vật trong truyện ngắn
• Luận văn tốt nghiệp ngành Sư phạm Ngữ văn
• Thơ ca cách mạng Việt Nam
• Cái bi trong thơ ca cách mạng Việt Nam
• Văn học Việt Nam
• Luận văn kế toán
• Luận văn tốt nghiệp kế toán
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp kế toán
• Luận văn tài chính
• Luận văn tài chính doanh nghiệp
• Luận văn đầu tư hộ gia đình
• Cách viết báo cáo thực tập
• Trình bày đồ án
• Trình bày luận văn tốt nghiệp
• Cách thể hiện đồ án
• Khóa luận tốt nghiệp
• Cách viết luận văn
• Hướng dẫn trình bày đồ án
• Hướng dẫn trình bày luận văn tốt nghiệp
• tiểu luận nghiên cứu đề tài
• luận văn mẫu
• báo cáo thực tập quản lí nhà hàng
• Luận văn tốt nghiệp cao học
• Luận văn văn hóa doanh nghiệp
• Giải pháp phát triển văn hóa doanh nghiệp
• Văn hóa doanh nghiệp
• Thực trạng văn hóa doanh nghiệp
• Phát triển văn hóa doanh nghiệp
• Luận văn tốt nghiệp Dược sĩ chuyên khoa I
• Tổ chức quản lý dược
• Thực hành tốt nhà thuốc
• Tiêu chuẩn thực hành tốt nhà thuốc
• doanh nghiệp bánh cao cấp Bảo Ngọc
• kênh phân phối
• đại lý
• công ty xây dựng công nghiệp Hà Nội
• hệ thống thông tin quản lý
• đối thủ cạnh tranh
• Luận văn tốt nghiệp Cử nhân Địa lý
• Luận văn tốt nghiệp Địa lý tự nhiên
• Đặc điểm địa danh Đông Nam Bộ
• Địa danh du lịch Đông Nam Bộ
• Luận văn tốt nghiệp Lịch sử
• Luận văn tốt nghiệp Lịch sử thế giới
• Quan hệ an ninh Mỹ Nhật
• Thời hậu chiến tranh lạnh
• Quan hệ quốc tế