tailieunhanh - Kết quả bước đầu nghiên cứu công nghệ chế tạo cửa sổ kim cương trên đế Si bằng phương pháp lắng đọng hóa học sử dụng plasma vi sóng

Màng kim cương được nuôi trên đế Si bằng phương pháp lắng đọng hóa học sử dụng plasma vi sóng công suất 1,3KV. Nhiệt độ của đế là 700 độ C áp suất buồng phản ứng là 50 Torr, thời gian nuôi kéo dài 5g. Mâm tạo màng kim cương là bột kim cương được lắng đọng trên đế Si bằng phương pháp rung siêu âm. Kết quả cho thấy vai trò quan trọng của quá trình tạo màng kim cương rất quan trọng. Ảnh đo SEM chỉ ra rằng màng kim cương mọc trên đế Si được rửa sạch sau khi rung siêu âm với bột kim cương có độ đồng đều về các hạt tốt hơn. Cửa sổ kim cương đã được chế tạo bằng cách ăn mòn ướt để Si có diện tích cỡ 1cm với chiều dày khoảng 15Mm. Các phép đo về cấu trúc và tính chất quang của cửa sổ kim cương sẽ được trình bày trong bài viết này. | HỘI NGHỊ VẬT LÝ CHẤT RÁN TOÀN QUÓC LÀN THỨ 5 - Vũng Tàu 12-14 11 2007 KÉT QUẢ BƯỚC ĐẦU NGHIÊN cứu CÔNG NGHỆ CHÉ TẠO CỬA SÒ KIM CƯƠNG TREN ĐÉ Si BẰNG PHƯƠNG PHÁP LANG ĐỌNG HOÁ HỌC SỬ DỤNG PLASMA VI SÓNG Nguyễn Đức Dũng Ngô Thi Thanh Tâm Nguyễn Ngọc Khoái Phan Ngọc Hồng Phan Ngọc Minh Phòng thí nghiệm trọng điểm Quổc Gia về Vật liệu và phòng Linh kiện điện tử Viện Khoa học Vật liệu Viện Khoa học và Cồng nghệ Việt Nam 18 Hoàng Quểc Việt cầu Giấy Hà Nội E-maik tamngo@ TÓM TÁT Màng kim cương được nuôi trên để Si bằng phương pháp lắng đọng hoá học sử dụng plasma vi sóng Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition MP-CVD công suất 1 3 KW. Nhiệt độ của đế là 700 C ảp suất buồng phàn ứng là 50 Torr thời gian nuôi kéo dài 5 giờ. Mầm tạo màng kim cương là bột kim cương được lẳng đọng trên để Si bằng phương phảp rung siêu âm. Kết quà cho thây vai trò của mầm trong quá trình tạo màng kim cương rât quan trọng. Ành đo SEM chì ra răng màng kim cương mọc trên đế Si được rửa sạch sau khi rung siêu âm vởi bột kim cương có độ đồng đều về các hạt tốt hơn. Cừa sồ kim cương đã được chế tạo bàng cách ăn mòn ướt đế Si cỏ diện tích cỡ 1 cm2 với chiều dày khoảng 15 ụm. Các phép đo về cấu trúc và tính chất quang cùa cửa sổ kim cương sẽ được trình bày trong bảo cảo. MỎ ĐÀU Màng mòng kim cương được ứng dụng trong công nghệ chế tạo các hệ vi điện tử do các đặc tính quí báu như độ cứng rẩt cao điện trở suất lớn có khà năng truyền ảnh sáng hồng ngoại và chịu đựng được hoá chất. Do có tính dẫn nhiệt tốt màng mòng kim cương còn là vật liệu lý tưởng làm môi trường tản nhiệt trong các linh kiện điện tử công suất lớn. Trong công nghệ chế tạo màng kim cương việc nghiên cứu vai trò cùa mầm nuôi cơ chế mọc màng kim cương đang còn là vấn đề thời sự cần nghiên cứu kỹ. Mẩm nuôi có ảnh hưởng quyết định tới tính chẩt cùa màng kim cương như hình thái học độ đồng đều độ bám dính của màng đối với đế mang 1- 3 . Báo cáo này trình bày một số kểt quà nghiên cứu vai trò của mầm nuôi trong quả trình mọc