tailieunhanh - Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian (Thanh Huyền)

Cảm biến áp suất mới MEMs dựa trên áp điện trở silicon, được phát triển để đo từ 20Bar tới trên 1000Bar cho những ứng dụng chuyển động trong không gian. Phần tử silicon có dạng ống với vị trí ngoài và cầu điện trở được mở rộng với tính ổn định cao để phát hiện áp suất do ứng suất mang lại, đã được xây dựng bởi chuẩn công nghệ silicon phẳng và quá trình riêng MEMs, như là liên kết nóng chảy silicon và thuật khắc điện tử. | THÉ GIỚI CẦM BIỂN Cảm biến áp suất MEM s Silicon cho không gian Cám biến áp suất mới MEMs dựa trên áp điện trở Silicon được phát triển để đo từ 20Bar tới trên lOOOBar cho những ứng dụng chuyển động trong không gian. Phần tử Silicon có dạng ống với vị trí ngoài và cầu điện trở được mở rộng với tính ổn định cao để phát hiện áp suãt do ứng suất mang lại đã được xây dựng bởi chuẩn công nghệ Silicon phẳng và quá trình riêng MEMs như là liên kết nóng cháy Silicon và thuật khắc điện tử. Cảm biến trên có triển vọng ứng dụng trong lĩnh vực gia công thô. Ưu điếm cúa nó là có sự khác biệt các thuộc tính quan trọng như kích thước và khoảng cách nhỏ mức độ cứng cùa kim loại trục đối xứng tín hiệu đầu ra lớn đáp ứng nhiệt độ và áp suất nhanh nhạy gia tốc thấp. Hiệu ứng trễ cũng đã được giảm thiểu bằng cách loại bỏ vỏ gây ra ứng suất bởi khoảng cách lớn giữa vùng cám nhận và vùng chết hoàn toàn chính xác trong phạm vi áp suất 700bar và dái nhiệt độ từ -70C tới 1350C là hơn 0 01 FS. Đặc điểm trễ và lặp lại được đo tới 10 ppm. 1. Giới thiệu. Nhà sản xuất Presens tập trung chính vào công nghiệp hoá phù hợp cho những ứng dụng cho áp suất trung bình và cao như áp suất dầu và gas có yêu cầu về độ chính xác ổn định lâu dài và khử độ rung. 2. Công nghệ Silicon Nguyên tắc đo lường được khai thác bởi Presens bao gồm sự hợp nhất cầu điện trở bên ngoài trên một cấu trúc Silicon dạng ống. Cho một õng thẳng ứng suất theo hướng ngang sẽ cao gấp đôi hướng trục sự khác biệt ứng suất giữa hai phương sẽ tương ứng với áp suất và có thế được đo lường bởi áp điện trở cúa cầu điện trở. Khi tác dụng áp lực bên ngoài đến phần tử ống là đế đo ứng suất nén luôn chống lại những áp lực gây hư hại. Phần tử càm biến được chế tạo bởi tiêu chuấn công nghệ mặt phẳng Silicon và tiêu chuẩn quá trình gia công kích thước nhỏ giống như hỗn hợp liên kết Silicon và khắc điện hoá. Cầu điện trở được chẽ tạo bởi một lớp epitaxial Silicon và kết nối điện với chuẩn lớp nhôm. Hình dạng mặt cắt của điện trở phố biến áp điện .