tailieunhanh - Thiết kế và chế tạo cảm biến gia tốc áp điện trở ba bậc tự do kích thứớc thu nhỏ trên cơ sở công nghệ vi cơ khối áp dụng kỹ thuật ăn mõn khô hoạt hóa sâu (DRIE)

Bài báo này trình bày kết quả nghiên cứu thiết kế qui trình và bộ MASK chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở ba bậc tự do có kích thước thu nhỏ với việc áp dụng một kỹ thuật tiên tiến, là ăn mòn khô hoạt hóa sâu (DRIE), để tạo cấu trúc ba chiều phức tạp của linh kiện. Các đặc trưng lối ra của cảm biến sau chế tạo đã được đo đạc và so sánh với các kết quả tính toán cho thấy cảm biến đã có những đáp ứng như mong đợi. | TẠP CHÍ KHOA HỌC CÔNG NGHỆ CÁC TRƯỜNG ĐẠI HỌC KỸ THUẬT SỐ 70 - 2009 THIẾT KẾ VÀ CHẾ TẠO CẢM BIẾN GIA TỐC ÁP ĐIỆN TRỞ BA BẬC Tự DO KÍCH THỨỚC THU NHỎTRÊN CƠ SỞ CÔNG Nghệ VI CƠ KHỐI ÁP DỤNG KỸ THUẬT ĂN MÒN KHÔ HOẠT HÓA SÂU DRIE DESIGN AND FABRICATION OF MEMS MINISTURIZED 3-DOF PIEZORESISTIVE ACCELERATION SENSORS USING DEEP REACTIVE ION ETCHING TECHNOLOGY Vũ Ngọc Hùng Nguyễn Văn Minh Lê Văn Minh Trịnh Quang Thông Trường Đại học Bách khoa Hà Nội TÓM TẮT Bài báo trình bày kết quả nghiên cứu thiết kế và chế tạo cảm biến gia tốc ba bậc tự do kích thước thu nhỏ trên cơ sở công nghệ vi cơ khối. Cảm biến được thiết kế có kích thước ngoài là 1x1x0 45 mm3. Phần tử nhạy cơ của cảm biến gồm khối gia trọng được treo trên bốn thanh dầm đối xứng có kích thước 340x60x10 pm3 và được giữ cố định trên khung cứng bên ngoài sử dụng vật liệu silic. Các áp điện trở silic dạng bản mỏng có kích thước 3x30 pm2 được tạo trên các thanh dầm. Qui trình chế tạo cảm biến gia tốc được thực hiện trên cơ sở áp dụng công nghệ vi điện tử để tạo các áp điện trở loại p cũng như dây điện cực và công nghệ vi chế tạo sử dụng kỹ thuật ăn mòn khô ion hoạt hoá sâu DRIE để tạo cấu trúc cơ của cảm biến. Trong nghiên cứu của chúng tôi quá trình ăn mòn vật liệu Si được thực hiện theo phương pháp Bosch sử dụng hỗn hợp khí SF6 và C4F8. Cảm biến được chế tạo có thể xác định đồng thời ba thành phần gia tốc Ax Ay và Az trong dải tần số hoạt động 100 Hz. Độ nhạy theo các phương X Y và Z đạt giá trị tương ứng là 30 5 pV g và 22 9 pV g. ABSTRACT This paper presents the design and the fabrication of a miniaturized three-degree-of-freedom piezoresistive acceleration sensor based on bulk MEMS technology. The outer dimension of designed sensor is 1x1x0 45 mm3. The mechanical sensitive part includes a seismass suspended by four symetrical thin beams which have the dimension of 340x60x10 pm3. This structure is contrained by a silicon rigid frame. The thin film resistors have the dimension of 3x30 pm2. The sensor fabrication .

• Điện - Điện tử
• Cảm biến gia tốc
• Cảm biến gia tốc MEMS
• Chế tạo cảm biến gia tốc
• Thiết kế cảm biến gia tốc
• Đặc trưng của cảm biến
• Nguyên lý biến đổi gia tốc
• Bài giảng Đo lường
• Bài giảng Cảm biến
• Tài liệu cảm biến
• Cảm biến vận tốc điện từ
• Máy phát tốc
• Cảm biến đo vận tốc
• Máy đo góc tuyệt đối
• Cảm biến rung và gia tốc
• Cảm biến đo tốc độ rung
• Gia tốc kế áp điện
• cảm biến công nghiệp
• giáo trình cảm biến công nghiệp
• bài giảng cảm biến công nghiệp
• tài liệu cảm biến công nghiệp
• đề cương cảm biến công nghiệp
• lý thuyết cảm biến công nghiệp
• Tóm tắt luận án Tiến sĩ
• Thiết kế chế tạo vi cảm biến
• Vi cảm biến vận tốc góc âm thoa
• Cảm biến gia tốc kiểu tụ
• Môi trường áp suất khí quyển
• Cảm biến đo quang
• đo nhiệt độ
• mức chất lưu
• Cảm biến đo áp suất
• Cảm biến đo lực
• biến dạng vật liệu
• Giáo trình cảm biến
• Giáo trình nghê điện
• Cảm biến vận tốc
• Nguyên lý đo áp suất
• Cảm biến đo biến dạng
• đo lường cảm biến
• nguyên lý đo cảm biến
• tốc độ kế điện từ
• trở biến thiên
• Cấu trúc mới cảm biến gia tốc áp điện
• Hệ thống điện
• Cảm biến gia tốc áp điện
• Phần mềm ANSYS
• Công nghệ vi cơ điện tử
• Vi hệ thống
• Câu hỏi trắc nghiệm đo lường cảm biến
• Đo lường gia tốc
• Đơn vị đo lường
• Cảm biến đo
• Cảm biến đo gia tốc
• Cảm biến đo rung
• chấn động
• rung động
• cảm biến gia tốc áp trở
• ứng dụng cho cảm biến
• Điện trở ba bậc tự do
• Mô phỏng cảm biến gia tốc
• Mô hình cảm biến
• Phân tích mode
• Phân tích ứng suất
• Tạp chí khoa học
• Phân tích phổ tần số dao động
• Cảm biến đo gia tốc dao động
• Cảm biến đo chuyển vị LVDT
• Tín hiệu cảm biến gia tốc
• Đạo hàm số tín hiệu chuyển vị
• Bài giảng Đo lường và cảm biến
• Đo lường và cảm biến
• Cảm biến nhiệt
• Cảm biến quang
• Cảm biến vận tốc gia tốc
• Kỹ thuật cảm biến đo lường
• Kỹ thuật cảm biến vận tốc
• Kỹ thuật cảm biến gia tốc
• Kỹ thuật cảm biến lực
• Kỹ thuật cảm biến áp suất
• Cảm biến gyro
• Bộ lọc Kalman
• Cảm biến con quay hồi chuyển
• Hệ thống vi cơ điện tử
• Đo vận tốc
• Đo gia tốc và độ rung
• Truyền thông không dây
• Giám sát hoạt động gia súc
• Hệ thống truyền không dây
• Cảm biến gia tốc 3 trục
• Bài giảng Cơ cấu cảm biến
• Tài liệu Cơ cấu cảm biến
• Cảm biến vị trí
• Cảm biến lượng dịch chuyển
• Đo gia tốc
• Đo lường vận tốc
• Đo lường điện
• Cảm biến điện
• Đồ án Kỹ thuật điện tử
• Khảo sát cảm biến gia tốc
• Kỹ thuật điện tử
• Đồ án điện tử
• Vi điều khiển MSP430G2452
• Bài giảng Phần tử tự động
• Phần tử tự động
• Phần tử khuếch đại
• Cấu tạo cảm biến gia tốc
• Hoạt động cảm biến gia tốc