tailieunhanh - báo cáo thực hành vật lý hạt nhân phần 3

Tham khảo tài liệu 'báo cáo thực hành vật lý hạt nhân phần 3', luận văn - báo cáo phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Cmu nghệ vát liệu vù dụng. cụ điện. GVCN Tran Kim Cương BAI TIỂU LUẬN CONG NGHỆ VẬT LIỆU DỤNG CU ĐIỆN TỬ Câu 1 Phương pháp tạo màng bằng phun xạ Catod. Khi động nàng vượt qua 4H hì bát đáu xáy ra sự đánh bạt vá giai phong nguyên tự khoi be mặt đe chuyển sang pha hơi. Hiện tượng náy được gội lá hiện tương phun xa Sputtering . Quá trình phun xa thương kêo theo sư dịch chuyển cua các nguyên tư trên bê mát vá sư hư hong tam thơi hoác vỉnh viển. co nhiêu phương pháp tao máng khác nhau như phương pháp Epitaxi phương pháp Planar trong đo co phương pháp phun xa. Halt baén phaù e ion nõôĩc gia toác thõôong Heá na0y naèm trong moâ hình huùt chaân khoâng Các hiên tương xáy ra ơ đáy phu thuọc vá náng lương bán phá chu yêu lá đông náng do thê náng báng 0 . Đông náng cua ion dung cho quá trình tao máng phun xa thương nám trong khoáng tư mưc ngương cho tơi khoáng 5Kêv. Do m ion m ê- náng lương bán phá m von m ion mv2 2 m ê- đế đát đươc mưc náng lương bán phá lơn thì chỉ cán gia toc ván toc v. Cơ chê lá dung Ion bán phá vá bán cưc đo lá Catod - vá ion do đo bán thán nguyên tư bị bán phá đá gia toe nên gáy ra hiên tương phun xa hay bay hơi bay hơi khong phái do nhiêt má do bán phá . Đọng náng bán phá xấp xĩ mưc ngương 5Kêv. Hiêu suát phun xa Hiêu suát phun xa đươc đánh giá báng so nguyên tư đươc giai phong khoi bê mat vát liêu đo dươi tác dung cua ion. Hiêu suất phun xa thay đoi thêo ion nhiêu hơn lá thêo loai nguyên tư vát liêu lám bia vá no phu thuọc váo goc tơi cua ion goc tơi táng thì hiêu suát SVTH Nguyeân Vaên Cõô0ng Trang 1 Cmu nghệ vát liệu vù dụng. cụ điện. GVCN Tran Kim Cương tăng biệt khi năng lượng ion cao hơn thì việc tăng góc tới se giới hạn sựbtăng tương tăc bệ mặt vă do vặy hịeu suất cung được tăng len. Hiệu suất phun Xă phu thuộc văo ion khí trơ cu the lă Ar Ar cho được hiếu suất căo nhất cOt cuối củă băng tuăn hoăn 7 8 cọt cuối . Do đo phăi cung cấp môt năng lượng lơn nhưng chỉ con văi năng lượng lă co ích con lăi phăi cung cấp cho tấm kim loăi đe biến .