tailieunhanh - fundamentals of heat and mass transfer solutions manual phần 10

Nhanh chóng xử lý nhiệt (RTP) công cụ bao gồm một ngân hàng đèn để sưởi ấm wafer silicon với chiếu xạ vào mặt trước của nó. Mặt sau của wafer (1) là đầu của một bao vây trụ mà bên (2) và (3) dưới bề mặt làm mát bằng nước. Một khẩu độ (4) trên bề mặt phía dưới cung cấp cho truy cập quang học để wafer. | PROBLEM KNOWN Rapid thermal processing RTP tool consisting of a lamp bank to heat a silicon wafer with irradiation onto its front side. The backside of the wafer 1 is the top of a cylindrical enclosure whose lateral 2 and bottom 3 surfaces are water cooled. An aperture 4 on the bottom surface provides for optical access to the wafer. FIND a Lamp irradiation Glamp required to maintain the wafer at 1300 K heat removal rate by the cooling coil and b Compute and plot the fractional difference Ebl - Ji Ebi as a function of the enclosure aspect ratio L D for the range L D with D 300 mm fixed for wafer emissivities of 1 and how sensitive is this parameter to the enclosure surface emissivity 2 3. SCHEMATIC ASSUMPTIONS 1 Enclosure surfaces are diffuse gray 2 Uniform radiosity over the enclosure surfaces 3 No heat losses from the top side of the wafer. ANALYSIS a The wafer-cylinder system can be represented as a four-surface enclosure. The aperture forms a hypothetical surface A4 at T4 T2 T3 300 K with emissivity 4 1 since it absorbs all radiation incident on it. From an energy balance on the wafer the absorbed lamp irradiation on the front side of the wafer awGlamp will be equal to the net radiation leaving the backside enclosure-side of the wafer qi. To obtain qi following the methodology of Section we must determine the radiosity of all the enclosure surfaces by simultaneously solving the radiation energy balance equations for each surface which will be of the form Eqs. or . Er - J Ji - Jj qi 1 - i qAi Ip AiFj 1 2 Since 4 1 J4 Eb4 we only need to perform three energy balances for A1 A2 and A3 respectively A. Eb1-J1 _ J1-J2 . J1-J3 . J1-J4 A1 3 1 1 A1 1 1 1 A2 Eb2- J1 J2- J1 J2 - J3 J2 - J4 4 1 2 A2 1 A2F21 1 A2F23 1 A2F24 Continued. A3 PROBLEM Cont. Eb3 - J3 J3 - J1 J3 - J2 J3 - J4 1 - 3 A3 1 A3f31 1 A3F32 1 A3F34 5 Recognize that in the above equation set there are three equations and three unknowns J1

• Cơ khí - Chế tạo máy
• ngành cơ khí
• động cơ máy
• nguyên lí hoạt động
• hệ thống máy móc
• cơ khí hóa
• động cơ máy móc
• chế tạo động cơ
• Ngành công nghiệp cơ khí
• Phát triển ngành công nghiệp cơ khí
• Định hướng ngành công nghiệp cơ khí
• Nền kinh tế quốc dân
• Tìm hiểu ngành công nghiệp cơ khí
• Tham khảo ngành công nghiệp cơ khí
• Dự báo phát triển ngành Cơ khí
• Cơ khí xây dựng
• Cơ khí giao thông vận tải
• Cơ khí nông nghiệp
• Cơ sở sản xuất ngành Cơ khí
• Chương trình đào tạo Cơ khí ô tô
• Ngành Cơ khí ô tô
• Cơ khí ô tô
• Giới thiệu Cơ khí ô tô
• Tìm hiểu ngành Cơ khí ô tô
• Kiến thức ngành Cơ khí ô tô
• Từ điển chuyên ngành cơ khí
• Từ điển chuyên ngành ô tô
• Từ vựng chuyên ngành cơ khí
• Từ điển chuyên ngành Cơ khí ô tô
• Anh Văn chuyên ngành cơ khí
• Tiếng Anh chuyên ngành ô tô
• Đào tạo ngành Cơ khí
• Chất lượng đào tạo ngành Cơ khí
• Đồ án chi tiết máy
• Nâng cao chất lượng ngành Cơ khí
• Thiết kế chế tạo chi tiết máy
• Ngành cơ khí chế tạo Việt Nam
• Ngành cơ khí chế tạo
• Thúc đẩy ngành cơ khí chế tạo
• Công nghiệp sản xuất
• Phát triển ngành cơ khí chế tạo
• Ngành công nghiệp cơ khí Việt Nam
• Tiến trình hội nhập kinh tế quốc tế
• Công nghiệp cơ khí
• Hội nhập kinh tế quốc tế
• Thực trạng ngành công nghiệp cơ khí
• Đề thi học kỳ
• Đề thi Anh văn chuyên ngành cơ khí
• Bài tập Anh văn chuyên ngành cơ khí
• Cơ khí chế tạo máy
• Đề thi cuối học kỳ II
• Đào tạo nguồn lực ngành cơ khí
• Chiến lược phát triển ngành cơ khí
• Cơ khí chế tạo
• Đào tạo nguồn nhân lực
• Chiến lược phát triển khoa học công nghệ
• Giáo trình khí nén điện khí nén
• cơ khí đại cương
• tài liệu cơ khí
• chuyên ngành cơ khí
• lý thuyết cơ khí
• giáo trình cơ khí đại cương
• bài giảng cơ khí
• Anh văn chuyên ngành
• Báo cáo thực tập ngành cơ khí
• Thực tập ngành cơ khí
• Luận văn cơ khí
• Công nghệ chế tạo cơ khí
• Kỹ thuật cơ khí
• Đề tài kỹ thuật cơ khí
• từ điển chuyên ngành
• tiếng anh chuyên ngành
• từ vựng cơ khí
• thuật ngữ cơ khí
• Từ vựng Tiếng Anh
• Từ vựng Tiếng Anh chuyên ngành Cơ khí
• Tiếng Anh chuyên ngành Cơ khí
• Tiếng Anh cho người đi làm
• Tổng hợp từ vựng Tiếng Anh ngành Cơ khí
• Giáo trình cơ khí
• Cơ sở tự động hóa ngành cơ khí
• Điều khiển tự động
• Tự động hóa ngành cơ khí
• Nguyên tắc điều khiển tự động
• phương pháp tính
• Công nghiệp cơ khí Việt Nam
• Thương mại hóa
• Kinh tế quốc tế
• Luận văn công nghiệp cơ khí
• Tiếng Anh cơ khí ô tô
• Tiếng Anh chuyên ngành cơ khí ô tô
• Special English for automobile engineering
• Từ vựng tiếng Anh chuyên ngành ô tô
• Giáo trình tuoc bin nhiệt điện
• cơ khí đại cương
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt