tailieunhanh - Bio-MEMS Technologies and Applications - Wang and Soper (Eds) Part 2

Tham khảo tài liệu 'bio-mems technologies and applications - wang and soper (eds) part 2', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | UV Lithography of Ultrathick SU-8 23 1. Clean Si wafer with acetone IPA isopropyl alcohol and DI deionized water. 2. Spin coat SU-8 100 at 400 rpm. 3. Level hot plate bake 10 hours at 110 C cool down to 60 C inside 1 hour dwell at 55 C uncross-linked SU-8 s glass temperature is 50 C to approximately 60 C for 4 hours cool down to room temperature inside 3 hours. 4. Expose the sample using a broadband light source with spectrum as shown in Figure includes the z-line Mine and g-line with total exposure dosage of 2 J cm2 for PMMA filter wavelength selection exposure with spectrum as shown in Figure includes the Mine and g-line with total exposure dosage 12 J cm2. 5. Postbake at 110 C for 20 minutes cool down as in step 3. 6. Develop sample using SU-8 developer at 32 C with SONOSYS megasonic actuator driven with a 250 W power supply for 2 hours. The megasonic transducer was placed in a water bath supporting a quartz tank in which the developer and substrate were located. Wafers were facing the megasonic actuator. 7. Rinse sample with IPA several times dry naturally. To measure the sidewall quality of the microstructures fabricated using filtered a light source and gap compensation a 20 pm feature-sized microstructure with a flat edge was removed from the substrate and placed on the measurement stage of the Veeco optical profiler. The Rg roughness of standard deviation was then measured along the 1150 pm length. It was found that the roughness of standard deviation in the light incident direction was pm over the entire length of 1150 pm. Figure shows a group of microcrosses produced with different conditions a broadband light source with no air gap compensation b broadband light source and air gap compensation using a glycerin solution c the filtered light source z-line eliminated with no air gap compensation and d filtered light source with gap compensation using a glycerin solution. The minimum designed thicknesses of the crosses achieved are 20 pm for

• Cơ khí - Chế tạo máy
• cơ khí chế tạo máy
• tài liệu cơ khí
• sổ tay cơ khí
• hướng dẫn cơ khí
• ôn thi cơ khí
• Ngành Công nghệ chế tạo máy
• Tìm hiểu Công nghệ chế tạo máy
• Đào tạo Công nghệ chế tạo máy
• Lĩnh vực cơ khí chế tạo máy
• Nghiên cứu công nghệ chế tạo máy
• Hệ thống cơ khí chế tạo máy
• Đề thi học kỳ
• Công nghệ chế tạo máy
• Đề thi Công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Công nghệ chế tạo máy
• Cơ khí máy
• Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• động cơ đốt trong
• gia công cơ khí
• giáo trình công nghệ chế tạo máy
• vẽ kỹ thuật cơ khí
• sổ tay thiết kế cơ khí
• công nghệ cơ khí
• đồ án công nghệ
• chế tạo máy
• tính lượng dư gia công
• thiết kế đồ gá
• gia công vật liệu
• cơ khí động lực
• chế tạo nhanh
• cơ khí chế tạo
• kỹ thuật cơ khí
• công nghệ chế tạo
• cơ kỹ thuật
• Thiết Kế Chi Tiết Máy
• khí thải ô tô
• Chế tạo ống xả sạch
• xử lý ô nhiễm trên ô tô
• Cơ khí ô tô
• ô nhiễm môi trường
• bộ lọc khí xả
• Báo cáo thực tập tốt nghiệp cơ khí
• Đồ án cơ khí chế tạo máy
• Đồ án công nghệ chế tạo máy
• Đồ án chế tạo máy
• Thiết kế chế tạo mô hình máy phay
• Đề tài chế tạo máy CNC
• cơ cấu phân phối khí
• phương pháp hàn
• công nghiệp tàu thủy
• Bài giảng Công nghệ chế tạo máy
• Quá trình hình thành sản phẩm cơ khí
• Quá trình sản xuất cơ khí
• máy tiện ren vít vạn năng
• tài liệu về hình vẽ máy cắt cơ
• tài liệu môn cơ khí chế tạo
• cách vẽ môn cơ khí chế tạo
• học môn cơ khí chế tạo
• Đề thi Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Bài tập Cơ sở công nghệ chế tạo máy
• Chương trình đào tạo Tiến sĩ
• Đào tạo Kỹ thuật cơ khí
• Đề cương Kỹ thuật cơ khí
• Mục tiêu đào tạo Công nghệ cơ khí
• Thiết kế đồ án chế tạo máy
• Kỹ thuật chế tạo máy
• Gia công chế tạo máy
• Chi tiết máy
• Inventor
• Đồ án tốt nghiệp chế tạo máy
• Sổ tay công nghệ chế tạo máy
• Sử dụng rôbốt công nghiệp
• chuyên đề tốt nghiệp
• báo cáo thực tập
• đồ án kỹ thuật
• kỹ thuật xây dựng
• Khoa học công nghệ
• Doanh nghiệp cơ khí Việt Nam
• Ngành Cơ khí chế tạo
• Cơ khí lắp ráp máy
• Cơ khí đường sắt
• công nghệ chế tạo phụ tùng
• bài giảng môn cơ khí
• tài liệu môn chế tạo máy
• kiến thức về chế tạo máy
• cơ khí giao thông
• công nghệ chế tạo chi tiết dạng hộp