tailieunhanh - Hóa học Nano – Công nghệ nền và vật liệu nguồn part 4

Tham khảo tài liệu 'hóa học nano – công nghệ nền và vật liệu nguồn part 4', khoa học tự nhiên, hoá học phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | PMn il- Chucmg 3. Công nghậ láng đọng pha hợi hóa học NANO 129 vẫn có một số nhò các poiyme tổng hợp bằng cách sử dụng phương pháp kỹ thuật này. Hình . Một số polyme lắng đọng thỗng thường sử dụng CVP a paraxylylene b polyimĩde c polynapthalene d poly p-phenylene vinylene và e polyazomethine. Chì mới gần đây mối quan tâm đen các lớp phủ này mới trở nên mạnh mẽ đặc biệt là về ngành công nghiệp vi điện tử mặc dù là sự lắng đọng polyme bằng CVP đã có từ năm 1947. Câu trả lời cho mối quan tâm này nằm ờ chỗ là các tính chất vật liệu cùa lớp màng như hằng số điện môi thấp hap thụ độ ẩm thấp và chống ăn mòn tốt cũng như là khà năng có một không hai của quá trình xìr lý CVP. Các polyme này và cơ cấu trùng hợp cùa chún cùng với các tính chất cùa lớp màng thu được được chủ trọng trong phần này. Các polyme sau đây được thào luận một cách riêng rẽ Poly-p-pylylene Parylenes Polyimides Polynapthalenes Polyphenylene Vinylenes Polyazometh ines Hình và hình cho thấy các mẫu polyme thuộc về mỗi họ trên mỗi một polyme trong sổ đó cơ chế trùng hợp và lắng đọng của chúng sẽ được bàn dưới đây. 130 Nguyễn Đức Nghĩa Thêm vào những điều đã nói ở trên có một số báo cáo về các polyme khác lắng đọng bàng CVP tuy nhiên vẫn chưa được nghiên cứu rộng rãi. Các báo cáo về 4- fluorostyrene polypyrrole và epoxy- amine polyme có thể tim đọc ở những tài liệu khác. Hình 3 12. Các cách tổng hợp khác nhau tiến hành lắng đọng màng mỏng polyme Mantle Furnace Mantle Heater 650 C Heater CTZZJ Heat conversion at 270 Cfor14h Hlnh . Sơ đồ chế tạo hệ thống lắng đọng ứng dụng phương pháp CVD để lắng đọng parylene II. . Poly-p-xylylenes Parylenes Có một số parylene polyme lắng đọng sừ dụng CVP. bản chúng đều là chất dẫn xuất của paraxylylene. Parylene không thay thế ở đây là parylene-N. Trong phần thảo luận tiếp theo parylene-N và các chất tương tự của nó sẽ được thảo luận sau. Một trong các nghiên cứu đầu tiên về tổng hợp pha hơi parylene là cùa Szwarc. Ông đã công bố nhiều báo cáo chi

TỪ KHÓA LIÊN QUAN
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
34    212    1    28-04-2024
37    141    0    28-04-2024
7    128    0    28-04-2024
173    104    0    28-04-2024
2    109    0    28-04-2024
40    98    0    28-04-2024
crossorigin="anonymous">
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.