tailieunhanh - Bài giảng: Phún xạ_Đại học Bách khoa Hà Nội

Khác với phương pháp bay bốc nhiệt, phún xạ không làm cho vật liệu bị bay hơi do đốt nóng mà thực chất quá trình phún xạ là quá trình truyền động năng. Vật liệu nguồn được tạo thành dạng các tấm bia (target) và được đặt tại điện cực (thường là catốt), trong buồng được hút chân không cao và nạp khí hiếm với áp suất thấp (cỡ 10-2 mbar). Dưới tác dụng của điện trường, các nguyên tử khí hiếm bị iôn hóa, tăng tốc và chuyển động về phía bia với tốc độ lớn và bắn phá. | Phún xa Lê Tuấn Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version - http Đai hoc Bách khoa Hà Nôi Phún xạ tiếp Sơ đồ hệ thống thiết bị phún xạ 0 2 2 2006 Nước làm lạnh IkV Đại học Bách khoa Hà Nội Súng ion Bia Nguyên tử phún xạ Nguyên tử Ar nhanh Mâm đỡ bằng Cu Plasma Ar ư Nguyên tử phún xạ ngược Q Q Q a Khí vào Bia Đế Phiến bán dẫn Nguồn điên Bơm chân không Phún xạ tiếp Sơ đồ bố trí các bộ phận thiết bị phún xạ Đại hoc Bách khoa Hà Nội 2 2 .