tailieunhanh - Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của nhiệt độ đế lên cấu trúc và tính chất điện của màng dẫn điện trong suốt SnO2:Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron phản ứng

Màng điện cực trong suốt SnO2:Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC phản ứng trên đế thủy tinh. Vật liệu bia là hợp kim Sn (tinh khiết 99,5%) pha Sb (5% khối lượng Sb). Quá trình tạo màng được thực hiện trong hỗn hợp khí Ar (tinh khiết 99,99%) và O2 (tinh khiết 99,999%). Hệ chân không tạo màng có thể đạt đến áp suất ban đầu khoảng 10-5torr. Nhiệt độ đế trong quá trình tạo màng được giữ ở các giá. | Science Technology Development Vol 12 - 2009 ẢNH HƯỞNG CỦA NHIỆT ĐỘ ĐẾ LÊN CẤU TRÚC VÀ TÍNH CHẤT ĐIỆN CỦA MÀNG DẪN ĐIỆN TROnG SUốT SnO2 Sb ĐƯỢC CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ magnetron phản ứng Lê Văn Ngọc 1 Phạm Ngọc Hiền 1 Hoàng Lê Thanh Trang 1 Trần Tuấn 1 Huỳnh Thành Đạt 2 1 Trường Đại học Khoa học Tự nhiên ĐHQG-HCM 2 ĐHQG-HCM TÓM TÃT Màng điện cực trong suốt SnO2 Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC phản ứng trên đế thủy tinh. Vật liệu bia là hợp kim Sn tinh khiết 99 5 pha Sb 5 khối lượng Sb . Quá trình tạo màng được thực hiện trong hôn hợp khí Ar tinh khiết 99 99 và O2 tinh khiết 99 999 . Hệ chân không tạo màng có thể đạt đến áp suất ban đầu khoảng 10 5torr. Nhiệt độ đế trong quá trình tạo màng được giữ ở các giá trị ổn định trong khoảng từ nhiệt độ phòng đến 450 0C. Sự phụ thuộc của kích thước hạt tinh thể và tính dân diện của màng vào nhiệt độ đế cũng được khảo sát. Từ khóa màng dân điện trong suốt TCO SnO2 Sb Cấu trúc và độ dân của SnO2 Sb. THIỆU Với vật liệu màng SnO2 có hoặc không pha tạp nói chung độ dẫn điện của màng phụ thuộc vào mức độ thiếu hụt một số vị trí cuả oxy bên trong màng mức độ tinh thể hóa của màng và kích thước của các hạt tinh thể. Trong phương pháp tạo màng bằng phún xạ magnetron rf việc tạo sự thiếu hụt oxy trong màng có thể được điều chỉnh thông qua tốc độ phún xạ và áp suất riêng phần cuả oxy trong quá trình lắng đọng màng. Tuy nhiên từ thực nghiệm công trình 1 cũng cho thấy việc điều chỉnh này là rất khó khăn vì điện trở suất của màng phụ thuộc rất nhiều vào sự thăng giáng của giá trị của hai thông số trên. Điều này có nghĩa là nó đòi hỏi khả năng đáp ứng với độ chính xác cao của các thiết bị điều chỉnh lưu lượng khí công suất phún xạ cũng như các thiết bị đo. Một hạn chế trong cách chế tạo màng này là luôn có sự xuất hiện của pha SnO. Chính sự tham gia của thành phần SnO này là nguyên nhân gây ra sự hấp thụ ánh sáng trong màng làm sụt giảm đáng kể độ truyền qua của màng. Ngoài ra sự tham gia của SnO