tailieunhanh - Nguyên lý laser

ĐO BIÊN DẠNG BỀ MẶT CHI TIẾT Đo độ nhám bề mặt chi tiết Phương pháp đo tán xạ tích phân toàn phần Công thức trên về cơ bản là chính xác với những bề mặt có độ nhám bình phương trung bình RMS nhỏ hơn bước sóng của chùm tia LOẠI NGUỒN LASER . Laser rắn Đặc điểm của Laser rắn. Laser rắn là laser mà môi trường hoạt chất là chất rắn: đơn tinh thể hoặc chất vô định hình. Độ nghịch đảo tích lũy thực hiện ở mức nguyên tử hoặc. | Chương 5 ĐO BIÊN DẠNG BỀ MẶT CHI TIẾT Đo độ nhám bề mặt chi tiết Phương pháp đo tán xạ tích phân toàn phần Cường độ lượng tia tán xạ là I scatter với độ nhám bình phương trung bình của bề mặt Rq qua công thức: I scatter = (4 Rq / ) I0 là cường độ tia phản xạ. Công thức trên về cơ bản là chính xác với những bề mặt có độ nhám bình phương trung bình RMS nhỏ hơn bước sóng của chùm tia tới. Phương pháp đo nhám bằng giao thoa laser Phương pháp đo này sử dụng giao thoa kế kiểu Mai ken xơn Hình Sơ đồ nguyên lý đo độ nhám bằng giao thoa kế laser Maikenxon . Khoảng cách vân b và độ khuếch đại chiều cao vân phụ thuộc vào góc nêm . Chiều cao nhám cần đo được xác định : h = ( a / b). - a chiều cao vân - bước sóng laser Đo biên dạng tế vi bề mặt chi tiết Thiết bị đo sự thay đổi điểm hội tụ Sự thay đổi điểm hội tụ theo biên dạng bề mặt đo Hình : Thiết bị đo theo sự thay đổi tiêu điểm Độ phân giải đứng có thể nhỏ tới 10 nm. Phạm vi quét theo phương đứng từ | Chương 5 ĐO BIÊN DẠNG BỀ MẶT CHI TIẾT Đo độ nhám bề mặt chi tiết Phương pháp đo tán xạ tích phân toàn phần Cường độ lượng tia tán xạ là I scatter với độ nhám bình phương trung bình của bề mặt Rq qua công thức: I scatter = (4 Rq / ) I0 là cường độ tia phản xạ. Công thức trên về cơ bản là chính xác với những bề mặt có độ nhám bình phương trung bình RMS nhỏ hơn bước sóng của chùm tia tới. Phương pháp đo nhám bằng giao thoa laser Phương pháp đo này sử dụng giao thoa kế kiểu Mai ken xơn Hình Sơ đồ nguyên lý đo độ nhám bằng giao thoa kế laser Maikenxon . Khoảng cách vân b và độ khuếch đại chiều cao vân phụ thuộc vào góc nêm . Chiều cao nhám cần đo được xác định : h = ( a / b). - a chiều cao vân - bước sóng laser Đo biên dạng tế vi bề mặt chi tiết Thiết bị đo sự thay đổi điểm hội tụ Sự thay đổi điểm hội tụ theo biên dạng bề mặt đo Hình : Thiết bị đo theo sự thay đổi tiêu điểm Độ phân giải đứng có thể nhỏ tới 10 nm. Phạm vi quét theo phương đứng từ vài mm tới khoảng 20 mm hay lớn hơn nữa Phạm vi đo ngang XxY được xác định bởi vật kính và phạm vi thường từ (0,14 x 0,1) mm tới (5 x 4) mm đối với các phép đo đơn lẻ., phạm vi đo X x Y có thể tới (100 x 100) mm. . Giao thoa kế hoạt động theo nguyên lý dịch pha Giao thoa kế dịch pha (PSI) bao gồm một giao thoa kế tích hợp với một kính hiển vi ,hình Trong giao thoa kế, gương tách tia hướng chùm sáng đi xuống theo một đường chuẩn,. Gương tách tia sẽ hướng chùm tia thứ hai đi tới bề mặt được đo rồi phản xạ lại. Hai chùm tia này trở lại bộ tách tia rồi kết hợp, chồng chất lên nhau tạo thành ảnh vân giao thoa trên bề mặt cảm biến Các thiết bị đo PSI thường sử dụng một trong hai kết cấu tùy thuộc vào sự sắp xếp vật kính hiển vi. Hình a cho thấy kết cấu của vật kính Mirau, ở đó các phần tử A, B và C dịch chuyển tham chiếu tới D. Hình b thể hiện kết cấu vật kính Linnik, trong đó các phần tử B và C dịch chuyển tham chiếu tới D và E. Hình ) Vật kính Mirau và Vật kính .

TỪ KHÓA LIÊN QUAN