tailieunhanh - Phún xạ phần 3

Tham khảo tài liệu 'phún xạ phần 3', kỹ thuật - công nghệ, năng lượng phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Phún xạ tiếp Cải thiện việc sử dụng bia nhờ thay đổi hình dạng các nam châm tiếp 2 2 2006 Đại học Bách khoa Hà Nội 21 Phún xạ tiếp Magnetron không cân bằng 2 2 2006 Đại học Bách khoa Hà Nội 22 Phún xạ tiếp Các loại magnetron Magnetron các loại khác nhau cho phép thay đổi các tính chất từ trường của nguồn với các hiệu ứng được tạo ra như sau Unbalance Không cân bằng Bằng cách thay đổi góc ra của các đường sức từ trường trong các magnetron không cân bằng có thể điều chỉnh số lượng điện tử được thoát ra do đó cả mức độ bắn phá ion đối với màng mỏng được tạo thành. Balance Cân bằng Dùng để giảm thiểu lượng năng lượng bổ sung cho màng mỏng mọc trên đế và tạo ra điều kiện bắn phá ion thấp. Field Strength Cường độ từ trường Thay đổi cường độ từ trường để điều chỉnh cường độ và hiệu điện thế phóng điện. Có thể sử dụng để bù trừ với thay đổi điện áp gây ra bởi hiện tượng ăn mòn bia trong quá trình phún xạ. Magnetic Field Shape Phân bố từ trường Thay đổi phân bố từ trường trong không gian gây ra sự biến đổi tương tác giữa plasma với anode nhằm điều chỉnh áp suất làm việc cực tiểu. 2 2 2006 Đại học Bách khoa Hà Nội .