tailieunhanh - Đề Tài: Mô phỏng Plasma phóng điện khí Argon trong hệ phún xạ Magnetron DC bằng phương pháp MIC/MCC

Hơn nửa thế kỷ qua , vật liệu và linh kiện mảng mỏng đã được chế tạo và ứng dụng thực tiễn , và ngày nay nó đang đóng vai trò trung tâm trong nhiều lĩnh vực khoa học, kỹ thuật cũng như đời sống. | ĐẠI HỌC QUỐC GIA THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC Tự NHIÊN VŨ HOÀNG NAM MÔ PHỎNG PLASMA PHÓNG ĐIỆN KHÍ ARGON TRONG HỆ PHÚN XẠ MAGNETRON DC BẰNG PHƯƠNG PHÁP PIC MCC Chuyên ngành Vật Lý Vô Tuyến và Điện Tử Mã số 60 44 03 1 LUẬN VĂN THẠC SĨ VẬT LÝ NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC PGS. TS LÊ VĂN HIẾU Thành phố Hồ Chí Minh - 2010 Lời cảm ơn Tôi biết ơn sâu sắc đến thầy Lê Văn Hiếu người đã tận tình dạy và hướng dẫn tôi từ khi tôi còn là một sinh viên cho đến khi tôi thực hiện luận văn này. Tôi biết ơn các Thầy Cô trong Bộ môn Vật lý Ứng dụng đã truyền đạt các kiến thức quý báu cho tôi trong những năm học qua. Cảm ơn bạn Nguyễn Đức Hảo đã giúp tôi có các hiểu biết về hệ phún xạ magnetron thực thế và hơn nữa bạn đã đọc và chỉnh sửa bài luận này cho tôi. Cảm ơn các bạn học viên cao học khóa 17 ở hai lớp Quang học và Vật lý Vô tuyến Điện tử chúng ta đã cùng nhau đồng hành trong suốt ba năm học vừa qua. Minh sẽ nhớ mãi những lần học nhóm và đi chơi xa cùng các bạn. Cảm ơn đến cô Phượng chị Trang các em Loan Hưng và An. Không có những chiếc máy tính của cô chị và các em thì đề tài này không thể thực hiện được. i Mục lục Mở Chương 1 TỔNG Plasma phóng điện sáng DC và hệ phún xạ Khái niệm về Phóng điện sáng Hệ phún xạ Các bước xây dựng hệ phún xạ magnetron Từ Phóng điện Tương tác hạt - Vận chuyển hạt trong pha Phát triển màng tại Các mô hình mô phỏng phóng điện Mô hình giải Mô hình chất Mô hình Mô hình lai. 14 Chương 2 XÂY DỰNG mô hình mô phỏng phóng điện MAGNETRON KHÍ ARGON. 15 Từ trường tĩnh của hệ magnetron phang tròn đối xứng Mô phỏng PIC MCC và áp dụng nó cho mô phỏng phóng điện magnetron . 18 Mô phỏng PIC. 18 Phân chia điện tích của siêu hạt cho nút Giải phương trình Poisson trên Kết hợp mạch .