tailieunhanh - Đề Tài: Mô phỏng Plasma phóng điện khí Argon trong hệ phún xạ Magnetron DC bằng phương pháp MIC/MCC

Hơn nửa thế kỷ qua , vật liệu và linh kiện mảng mỏng đã được chế tạo và ứng dụng thực tiễn , và ngày nay nó đang đóng vai trò trung tâm trong nhiều lĩnh vực khoa học, kỹ thuật cũng như đời sống. | ĐẠI HỌC QUỐC GIA THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC Tự NHIÊN VŨ HOÀNG NAM MÔ PHỎNG PLASMA PHÓNG ĐIỆN KHÍ ARGON TRONG HỆ PHÚN XẠ MAGNETRON DC BẰNG PHƯƠNG PHÁP PIC MCC Chuyên ngành Vật Lý Vô Tuyến và Điện Tử Mã số 60 44 03 1 LUẬN VĂN THẠC SĨ VẬT LÝ NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC PGS. TS LÊ VĂN HIẾU Thành phố Hồ Chí Minh - 2010 Lời cảm ơn Tôi biết ơn sâu sắc đến thầy Lê Văn Hiếu người đã tận tình dạy và hướng dẫn tôi từ khi tôi còn là một sinh viên cho đến khi tôi thực hiện luận văn này. Tôi biết ơn các Thầy Cô trong Bộ môn Vật lý Ứng dụng đã truyền đạt các kiến thức quý báu cho tôi trong những năm học qua. Cảm ơn bạn Nguyễn Đức Hảo đã giúp tôi có các hiểu biết về hệ phún xạ magnetron thực thế và hơn nữa bạn đã đọc và chỉnh sửa bài luận này cho tôi. Cảm ơn các bạn học viên cao học khóa 17 ở hai lớp Quang học và Vật lý Vô tuyến Điện tử chúng ta đã cùng nhau đồng hành trong suốt ba năm học vừa qua. Minh sẽ nhớ mãi những lần học nhóm và đi chơi xa cùng các bạn. Cảm ơn đến cô Phượng chị Trang các em Loan Hưng và An. Không có những chiếc máy tính của cô chị và các em thì đề tài này không thể thực hiện được. i Mục lục Mở Chương 1 TỔNG Plasma phóng điện sáng DC và hệ phún xạ Khái niệm về Phóng điện sáng Hệ phún xạ Các bước xây dựng hệ phún xạ magnetron Từ Phóng điện Tương tác hạt - Vận chuyển hạt trong pha Phát triển màng tại Các mô hình mô phỏng phóng điện Mô hình giải Mô hình chất Mô hình Mô hình lai. 14 Chương 2 XÂY DỰNG mô hình mô phỏng phóng điện MAGNETRON KHÍ ARGON. 15 Từ trường tĩnh của hệ magnetron phang tròn đối xứng Mô phỏng PIC MCC và áp dụng nó cho mô phỏng phóng điện magnetron . 18 Mô phỏng PIC. 18 Phân chia điện tích của siêu hạt cho nút Giải phương trình Poisson trên Kết hợp mạch .

• Thạc sĩ - Tiến sĩ - Cao học
• plasma
• Dc
• phún xạ maguetron ảo
• mô phỏng Mic
• mô phỏng MCC
• mã tuần tự
• Plasma nhiệt độ thấp
• Bài thuyết trình Plasma nhiệt độ thấp
• Ứng dụng Plasma nhiệt độ thấp
• Tính chất của Plasma
• Phân loại Plasma
• Định nghĩa Plasma
• Thế màn chắn trong Plasma OCP
• Plasma OCP bắt đầu kết tinh
• Plasma BIM carbon oxy
• Plasma hỗn hợp hai thành phần carbon oxy
• Carbon oxy ở trạng thái kết tinh
• Kỹ thuật vật liệu polyme
• Ứng dụng plasma
• Vật liệu polyme
• Phương pháp tạo plasma
• Plasma quanh ta
• Hóa học plasma
• Quá trình plasma
• Bài thuyết trình Chẩn đoán Plasma
• Chẩn đoán Plasma
• Phương pháp chẩn đoán Plasma
• Phương pháp phân tích quang phổ phát xạ
• Nguyên tắc kích thích phổ phát trong plasma
• Bài thuyết trình Vật lý ứng dụng
• Hàn hồ quang Plasma
• Cấu tạo hàn hồ quang Plasma
• Súng mỏ hàn Plasma
• Cấu tạo súng mỏ hàn Plasma
• Hàn hồ quang
• Định nghĩa hàn hồ quang Plasma
• Bài giảng Plasma
• Khí ion hóa
• Sự tương tác giữa các hạt Plasma
• Tần số va chạm
• Va chạm không đàn hồi
• Màn hình Plasma
• Tìm hiểu màn hình Plasma
• Màn hình công nghệ mới
• Cấu tạo màn hình plasma
• Công nghệ chế tạo màn hình
• Chế tạo màn hình
• Bài giảng Màn hình Plasma
• Phương pháp tái tạo hình ảnh
• Lịch sử phát triển màn hình
• Cấu tạo của màn hình Plasma
• Nguyên tắc hoạt động của màn hình
• Lắng tụ hơi hóa học
• Bài giảng Lắng tụ hơi hóa học
• Tăng cường Plasma
• Hiện tượng truyền dòng chảy
• Plasma trong CVD
• Plasma trong PECVD
• Bài thuyết trình Vật lý
• Plasma trên các vì sao
• Dạng plasma trong vũ trụ
• Sự ra đời của một ngôi sao
• Sự bức xạ của plasma
• Sự tiến hóa của các ngôi sao
• Công nghệ plasma lạnh
• Ứng dụng plasma lạnh
• Phương pháp tạo plasma lạnh
• Phóng điện màn chắn
• Phóng điện vầng quang
• Hiệu quả xử lý nước
• Xử lý chất thải rắn
• Công nghệ Plasma
• Kỹ thuật xử lý chất thải rắn
• Chất thải rắn bằng công nghệ Plasma
• Công nghệ Plasma trong xử lý chất thải rắn
• Khử nấm mốc
• Plasma lạnh ở áp suất khí quyển
• Aspergillus flavus
• Nguồn plasma DBD
• Phổ phát xạ quang OES của plasma DBD trong không khí
• Cơ chế diệt phân tử sinh học
• Đánh giá biến đổi hóa học của nước
• Quá trình hoạt hóa bằng plasma lạnh
• Nước hoạt hóa plasma
• Chất lỏng hoạt hóa plasma
• Nitơ hoạt động
• Seminal plasma
• Breeding season
• Haptoglobin in seminal plasma
• Seminal plasma of Awassi rams
• Semen parameters
• BMC Pharmacology and Toxicology
• Ibuprofen overdose
• Therapeutic plasma exchange
• Tissue specific complications of poisoning
• Ibuprofen plasma concentration
• Nhân hai trường hợp Plasma Cell Leukemia
• Plasma Cell Leukemia tự ghép tế bào gốc
• Ghép tế bào gốc
• Bệnh viện Truyền máu Huyết học
• Plasma Cell Leukemia nguyên phát
• Báo cáo phân tích xu hướng công nghệ
• Xu hướng công nghệ
• Ứng dụng plasma trong chế biến
• Ứng dụng plasma trong bảo quản thực phẩm
• Chế biến thực phẩm
• Bảo quản thực phẩm
• Giáo trình Cắt phôi trên máy CNC Plasma
• Cắt phôi trên máy CNC Plasma
• Chế tạo thiết bị cơ khí
• Thao tác với các chức năng trên mỏ cắt
• Máy cắt plasma CNC
• Dog plasma
• Determination of nifedipine
• Nifedipine in dog plasma
• Dog plasma by ultra performance liquid chromatography
• Tandem mass spectrometric detection
• Proterin bands
• Ostrich seminal plasma
• Identify seminal plasma proteins
• Seminal plasma proteins in ostrich
• Proteomic approach
• Plasma keyhole
• Plasma MIG hybrid welding
• Hybrid arc
• Butt joint welding
• Thick plate steel
• Plasma mig hybrid welding process
• BMC Musculoskeletal Disorders
• Platelet rich plasma
• Plasma rich in growth factor
• Hyaluronic acid
• Knee osteoarthritis
• Cold plasma
• Plasma jet
• Organic dye removal
• Rhodamine B
• Plasma jet oxidation process