Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Sức khỏe - Y tế
Văn bản luật
Nông Lâm Ngư
Kỹ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Giới thiệu
Đăng ký
Đăng nhập
Tìm
Danh mục
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Y tế sức khỏe
Văn bản luật
Nông lâm ngư
Kĩ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Thông tin
Điều khoản sử dụng
Quy định bảo mật
Quy chế hoạt động
Chính sách bản quyền
Giới thiệu
Đăng ký
Đăng nhập
0
Trang chủ
Kỹ Thuật - Công Nghệ
Tự động hoá
Nghiên cứu chế tạo và khảo sát các đặc trưng của cảm biến vi cơ đo lực
tailieunhanh - Nghiên cứu chế tạo và khảo sát các đặc trưng của cảm biến vi cơ đo lực
Các cảm biến do lực kích thước nhỏ chế tạo bằng công nghệ vi cơ đã được thiết kế và chế tạo lần đầu tiên tại Việt nam bởi nhóm MEMS tại trung tâm ITIMS. Cấu trúc cảm biến này gồm một màng silic chiều dày cỡ 45 micro, ở tâm có thiết kế thêm một tâm cứng làm điểm đặt lực. Tín hiệu cơ được chuyển đổi qua một cầu điện trở 4 điện cực thành tín hiệu điện lối ra. Trong bài báo này chúng tôi trình bày sơ đồ nguyên lý, quy trình chế tạo, và các. | NGHIÊN cứu CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT CÁC ĐẶC TRUNG CỦA CẢM biến VI Cơ ĐO Lực Vũ Ngọc Hùng Nguyễn Đức Chiến Trịnh Quang Thông Trung tâm Quốc tế Đào tạo về Khoa học Vật liệu ITIMS Đinh Văn Dũng Khoa Vật lý Truờng ĐhSp Hà nội 2 Tóm tắt Các cảm biến đo lực kích thước nhỏ chê tạo bằng công nghệ vi cơ đã được thiết kê và chê tạo lần đầu tiên tại Việt nam bởi nhóm MEMS tại Trung tâm ITIMS. Cấu trúc cảm biên này gồm một màng silic chiều dày cữ 45 micron ở tâm có thiết kê thêm một tâm cứng làm điểm đặt lực. Tín hiệu cơ được chuyển đổi qua một cầu điện trở hoặc điện trở 4 điện cực thành tín hiệu điện lôi ra. Trong bài báo này chúng tôi trình bày sơ đồ nguyên lý qui trình chê tạo và các khảo sát đặc trưng của cảm biên. Fabrication and characterization of michromachined force sensors Abstract Silicon micromachined force sensors have been designed and fabricated successfully for the first time in Vietnam by the MEMS group at ITIMS. The structure of the sensors consists of a membrane with a stiff center the membrane thickness is about 45 microns the stiff center serves as a forced point. The mechanical signal is converted into output voltage signal by a Wheastone resistor bridge or 4 terminal gage diffused on the membrane. In this paper the sensor configuration fabrication process and characteristics have been presented. 1. MỞ ĐẦU Các cấu trúc đo tín hiệu co tiêu biểu thuờng có dạng các màng hoặc các thanh dầm đuợc chế tác 3 chiều từ các vật liệu khối. Chỉ có thể chế tạo các cấu trúc này với độ chính xác cao nhờ công nghệ vi co micromachining technology . Do tính đặc thù cũng nhu khả năng đặc biệt của công nghệ vi co công nghệ này đã đuợc ứng dụng để chế tạo các cấu trúc và các bộ cảm biến ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau nhu trong công nghiệp kỹ thuật y tế quân sự . Trong những năm gần đây với sự hỗ trợ đắc lực của công nghệ vi điện tử và công nghệ tin học công nghệ vi co đã phát triển mạnh mẽ và rộng khắp trên thế giới. Nhóm MEMS ở Trung tâm Quốc tế Đào tạo về Khoa học Vật .
Cẩm Tú
76
6
pdf
Báo lỗi
Trùng lắp nội dung
Văn hóa đồi trụy
Phản động
Bản quyền
File lỗi
Khác
Upload
Tải xuống
đang nạp các trang xem trước
Bấm vào đây để xem trước nội dung
Tải xuống
TÀI LIỆU LIÊN QUAN
Đề kiểm tra và đáp án giữa học môn Khoa học vật liệu dệt - ĐHBK TP.HCM
2
282
8
Đề thi cuối kì và đáp án môn Khoa học vật liệu dệt - ĐHBK TP.HCM
3
220
8
Đề thi và đáp án cuối kì môn Khoa học vật liệu dệt - Đề 1&2 - ĐHBK TP.HCM
8
285
6
Đề tài nghiên cứu khoa học: Thiết kế một số thí nghiệm phương pháp giảng dạy vật lý phổ thông
40
277
4
Tóm tắt Luận án Tiến sĩ Khoa học vật liệu: Nghiên cứu chế tạo vật liệu ống nanô cácbon định hướng và vật liệu graphene nhằm ứng dụng trong cảm biến sinh học
28
137
2
Luận án Tiến sĩ Khoa học vật liệu: Nghiên cứu chế tạo vật liệu ống nanô cácbon định hướng và vật liệu graphene nhằm ứng dụng trong cảm biến sinh học
181
147
4
Tóm tắt Luận án Tiến sĩ Khoa học vật liệu: Nghiên cứu chế tạo, khảo sát tính chất và khả năng ứng dụng của vật liệu phát quang BaMgAl10O17:Cr3+, CaAl12O19:Cr3+ và CaAl12O19 - CaAl4O7 - MgAl2O4 pha tạp Mn4+
24
6
1
Luận án Tiến sĩ Khoa học vật liệu: Nghiên cứu chế tạo, khảo sát tính chất và khả năng ứng dụng của vật liệu phát quang BaMgAl10O17:Cr3+, CaAl12O19:Cr3+ và CaAl12O19 - CaAl4O7 - MgAl2O4 pha tạp Mn4+
112
6
1
Bài giảng Cơ sở khoa học vật liệu: Chương 1 – TS. Lê Văn Thăng
42
155
1
Bài giảng Cơ sở khoa học vật liệu: Chương 1 – TS. Lê Văn Thăng
42
120
3
TÀI LIỆU XEM NHIỀU
Một Case Về Hematology (1)
8
462336
61
Giới thiệu :Lập trình mã nguồn mở
14
25915
79
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
11335
542
Câu hỏi và đáp án bài tập tình huống Quản trị học
14
10543
466
Phân tích và làm rõ ý kiến sau: “Bài thơ Tự tình II vừa nói lên bi kịch duyên phận vừa cho thấy khát vọng sống, khát vọng hạnh phúc của Hồ Xuân Hương”
3
9835
108
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8885
1161
Tiểu luận: Nội dung tư tưởng Hồ Chí Minh về đạo đức
16
8499
426
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
8098
2279
Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)
152
7709
1788
Đề tài: Dự án kinh doanh thời trang quần áo nữ
17
7240
268
TỪ KHÓA LIÊN QUAN
Tự động hoá
khoa học vật liệu
cảm biển vi cơ đo lực
công nghệ vi cơ
ITIMS
MEMS
Đề thi Khoa học vật liệu dệt
Khoa học vật liệu dệt
Đề kiểm tra Khoa học vật liệu dệt
Ôn thi Khoa học vật liệu dệt
Môn thi Khoa học vật liệu dệt
Bài tập Khoa học vật liệu dệt
nghiên cứu khoa học
chuyên đề vật lý
luận văn khoa vật lý
vật lý ứng dụng
nghiên cứu vật lý
báo cáo khoa học
vật lý phổ thông
Luận án Tiến sĩ Khoa học vật liệu
Chế tạo vật liệu ống nanô cácbon
Vật liệu ống nanô cácbon định hướng
Vật liệu graphene
Cảm biến sinh học
Tóm tắt Luận án Khoa học vật liệu
Vật liệu phát quang
Chế tạo vật liệu phát xạ
Chế tạo WLED
Vật liệu BAM pha tạp Cr3+
Vật liệu CCM:Mn4+
Bài giảng Cơ sở khoa học vật liệu
Cơ sở khoa học vật liệu
Vật liệu học
Vật liệu của tương lai
Tóm tắt luận án Tiến sĩ Khoa học vật liệu
Tiến sĩ Khoa học vật liệu
Nghiên cứu thu hồi kim loại đồng
Phương pháp điện hóa
Cấu trúc vật liệu polymer
Vật liệu polymer
Tổng hợp polymer
V ật liệu composit
Luận án Tiến sĩ
Luận án Tiến sĩ Khoa học vật chất
Khoa học vật chất
Vật lý chất rắn
Tính chất vật lý
Hệ vật liệu áp điện
Cộng hưởng áp điện
Cấu trúc của vật liệu gốm
Vật liệu gốm
Vi cấu trúc của gốm
Tinh thể vô cơ
Khuyết tật trong cấu trúc
Cấu trúc vật liệu
Khuyết tật cấu trúc vật liệu
Tính chất nhạy khí
Vật liệu nano ô xít sắt
Vi cân tinh thể thạch anh
Giáo trình Đại cương Khoa học vật liệu
Đại cương Khoa học vật liệu
Công nghê chế tạo vật liệu
Vật liệu kim loại
Tóm tắt Luận án Tiến sĩ
Luận án Tiến sĩ Khoa học giáo dục
Phương pháp dạy học môn Vật lí
Năng lực tích hợp kiến thức
Sinh viên sư phạm Vật lí
Dạy học Vật lí đại cương
Vật lí nguyên tử hạt nhân
Vật liệu quang học
Quang điện tử và quang tử
Chế tạo vật liệu Cu2O
Tính chất quang xúc tác
Điện – quang xúc tác của vật liệu Cu2O
Lớp phủ cấu trúc nano
kiến thức vật lý căn bản
tài liệu ôn thi vật lý
vật lí hạt nhân
công suất điện
cơ ứng dụng
Giáo án Khoa học 4 bài 67
Giáo án điện tử Khoa học 4
Giáo án Khoa học 4
Giáo án điện tử lớp 4
Ôn tập thực vật và động vật
Mối quan hệ giữa sinh vật
Sinh vật trên Trái Đất
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
Báo cáo nghiên cứu nông nghiệp " Biofertiliser inoculant technology for the growth of rice in Vietnam: Developing technical infrastructure for quality assurance and village production for farmers "
12
144
2
23-12-2024
CHƯƠNG 2: RỦI RO THÂM HỤT TÀI KHÓA
28
158
1
23-12-2024
Báo cáo y học: "The Factors Influencing Depression Endpoints Research (FINDER) study: final results of Italian patients with depressio"
9
147
1
23-12-2024
ETHICAL CODE HANDBOOK: Demonstrate your commitment to high standards
7
146
1
23-12-2024
OPEN SOURCE ERP REASONABLE TOOLS FOR MANUFACTURING SMEs?
1
148
1
23-12-2024
English Grammar Tests-Elementary Level's archiveReal Life: Accessories and Clothing (1)
8
120
0
23-12-2024
Đề thi Tiếng Anh lop 12 (2010-2011) Trần Hưng Đạo Mã đề: 001
19
106
0
23-12-2024
Giáo trình dinh dưỡng part 9
7
110
0
23-12-2024
Advances in Lasers and Electro Optics Part 15
50
101
0
23-12-2024
A Synopsis of Social Marketing by Lynn MacFadyen, Martine Stead and Gerard Hastings (1999)
10
116
0
23-12-2024
TÀI LIỆU HOT
Mẫu đơn thông tin ứng viên ngân hàng VIB
8
8098
2279
Giáo trình Tư tưởng Hồ Chí Minh - Mạch Quang Thắng (Dành cho bậc ĐH - Không chuyên ngành Lý luận chính trị)
152
7709
1788
Ebook Chào con ba mẹ đã sẵn sàng
112
4406
1371
Ebook Tuyển tập đề bài và bài văn nghị luận xã hội: Phần 1
62
6273
1266
Ebook Facts and Figures – Basic reading practice: Phần 1 – Đặng Tuấn Anh (Dịch)
249
8885
1161
Giáo trình Văn hóa kinh doanh - PGS.TS. Dương Thị Liễu
561
3835
680
Giáo trình Sinh lí học trẻ em: Phần 1 - TS Lê Thanh Vân
122
3917
609
Giáo trình Pháp luật đại cương: Phần 1 - NXB ĐH Sư Phạm
274
4700
565
Tiểu luận: Tư tưởng Hồ Chí Minh về xây dựng nhà nước trong sạch vững mạnh
13
11335
542
Bài tập nhóm quản lý dự án: Dự án xây dựng quán cafe
35
4501
490