tailieunhanh - Bộ phát sóng siêu âm vi cơ điện dung pôlyme dùng cho xác định độ nhám bề mặt

Trong bài viết này, bộ phát sóng siêu âm vi cơ điện dung sử dụng vật liệu pôlyme (CMUT) được phát triển để đo độ nhám bề mặt vật liệu. Bộ phát sóng được thiết kế có thể đánh giá được độ nhám bề mặt ở năm chế độ khác nhau: Toàn bộ phát / toàn bộ thu, đa số phát / đa số thu, đa số phát / thiểu số thu, thiểu số phát / đa số thu, thiểu số phát / thiểu số thu. | HỘI NGHỊ KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ TOÀN QUỐC VỀ CƠ KHÍ LẦN THỨ V - VCME 2018 Bộ phát sóng siêu âm vi cơ điện dung pôlyme dùng cho xác định độ nhám bề mặt Surface roughness measurement using a polymer-based capacity micromachined ultrasonic transducer Bùi Gia Thịnh1 2 Nguyễn Như Tùng3 Nguyễn Quận4 Đỗ Anh Tuấn2 1 Trường Đại học Hải Phòng 2 Trường Đại học Sư phạm Kỹ thuật Hưng Yên 3 Trường Đại học Công nghiệp Hà Nội 4 Trường Đại học Phạm Văn Đồng Email buigiathinh1784@ Tel 84-225-3848040 Mobile 0916802468 Tóm tắt Từ khóa Trong bài báo này bộ phát sóng siêu âm vi cơ điện dung sử dụng vật liệu pôlyme CMUT được phát triển để đo độ nhám bề mặt vật liệu. Bộ phát Bộ phát sóng siêu âm Độ nhám sóng được thiết kế có thể đánh giá được độ nhám bề mặt ở năm chế độ khác Pôlyme Vi cơ điện dung. nhau toàn bộ phát toàn bộ thu đa số phát đa số thu đa số phát thiểu số thu thiểu số phát đa số thu thiểu số phát thiểu số thu. Các thí nghiệm chỉ ra rằng chế độ toàn bộ phát toàn bộ thu có đầu ra tín hiệu lớn nhất và chế độ thiểu số phát đa số thu có được tín hiệu tốt với hiệu suất cao hơn. Kết quả cho thấy bộ phát sóng siêu âm có thể xác định độ nhám bề mặt của giấy nhám với độ nhám bề mặt Rrms dao động từ 11 4μm đến 179 8μm. Abstract Keywords In this paper the polymer-based capacitive micromachined ultrasonic transducer CMUT is developed for measuring the surface roughness of Capacitive micromachined materials. The transducer is designed to evaluate surface roughness with Polymer-based Surface five modes full transmission full reception majority transmission majority roughness Ultrasonic transducer. reception majority transmission minority reception minority transmission majority reception minority transmission minority reception. Experiments indicate that the full transmission full reception mode has the greatest signal output and the minority transmission majority reception mode can obtain good signal with better energy efficiency. The result shows the CMUT can identify the surface