tailieunhanh - Luận án Tiến sĩ Điện tử Viễn thông: Design, simulation, fabrication and performance analysis of a piezoresistive micro accelerometer

One of the important contributions of this thesis is that a hierarchical MEMS design synthesis and optimization process have been developed for and validated by the design of a specific structure of MEMS based accelerometer. | Luận án Tiến sĩ Điện tử Viễn thông Design simulation fabrication and performance analysis of a piezoresistive micro accelerometer CONTENTS Declaration Abbreviation amp Notations List of Tables List of Figures and Graphs CHAPTER 1. 2 INTRODUCTION . 2 Motivation and Objectives of This Thesis . 2 Overview of MEMS . 3 Reviews on Silicon Micro Accelerometers . 4 Reviews on Development of Multi-Axis Accelerometers . 7 Reviews on Performance Optimization of Multi-Axis Accelerometers . 10 Content of the Thesis . 12 CHAPTER 2. 14 TRENDS IN DESIGN CONCEPTS FOR MEMS APPLIED FOR PIEZORESISTIVE ACCELEROMETER . 14 Open-loop Accelerometers. 14 Piezoresistive Accelerometer . 21 Overview of MNA and FEM Softwares . 35 Summary . 41 CHAPTER 3. 42 DESIGN PRINCIPLES AND ILLUSTRATING APPLICATION A 3-DOF ACCELEROMETER . 42 Introductions . 42 Working Principle for a 3-DOF Accelerometers . 42 A Systematic and Efficient Approach of Designing Accelerometers. 44 Structure Analysis and the Design of the Piezoresistive Sensor . 52 Measurement Circuits . 57 Multiphysic Analysis of the 3-DOF Accelerometer . 61 Design Simulation Fabrication and Performance Analysis of a Piezoresistive Micro Accelerometer Noise Analysis . 68 Mask Design . 72 Summary . 77 CHAPTER 4. 79 FABRICATION AND CALIBRATION OF THE 3-DOF ACCELEROMETER . 79 Fabrication Process of the Acceleration Sensor . 79 Measurement Results . 89 Summary . 100 CHAPTER 5. 101 OPTIMIZATION BASED ON FABRICATED SENSOR . 101 Introductions . 101 Pareto Optimality Processes . 101 Summary . 110 CONCLUSIONS . 111 Design Simulation Fabrication and Performance Analysis of a Piezoresistive Micro Accelerometer CHAPTER 1 INTRODUCTION Motivation and Objectives of This Thesis During the last decades MEMS technology has undergone rapid development leading to the successful fabrication of miniaturized mechanical structures integrated with microelectronic .

• Thạc sĩ - Tiến sĩ - Cao học
• Luận án Tiến sĩ
• Điện tử Viễn thông
• Performance analysis
• A piezoresistive micro accelerometer
• A hierarchical MEMS
• Dự thảo tóm tắt Luận án Tiến sĩ
• Tóm tắt Luận án Tiến sĩ
• Luận án Tiến sĩ Hóa học
• Luận án Tiến sĩ ngành Hóa phân tích
• Nguyên tố độc hại cho môi trường
• Luận án Tiến sĩ Sinh học
• Luận án Tiến sĩ ngành Di truyền học
• Phân tích ADN
• Tế bào phôi thai tự do trong máu mẹ
• Luận án Tiến sĩ ngành Thực vật học
• Bảo tồn tài nguyên cây thuốc
• Ti nguyên cây thuốc tỉnh Thái Nguyên
• Luận án Tiến sĩ ngành Vi sinh vật học
• Xử lý chất thải hữu cơ
• Luận án Tiến sĩ ngành Hóa sinh học
• Bệnh đốm trắng ở tôm
• Luận án Tiến sĩ Toán học
• Luận án Tiến sĩ ngành Toán ứng dụng
• Phương pháp giải hệ phương trình toán tử
• Luận án Tiến sĩ ngành Hóa vô cơ
• Phức chất hỗn hợp kim loại
• Luận án Tiến sĩ Địạ lí
• Luận án Tiến sĩ ngành Địa lí tự nhiên
• Phát triển nông lâm nghiệp
• Cảnh quan miền núi
• Luận án Tiến sĩ ngành Hóa dầu
• Hệ nhũ tương
• Sự lắng đọng parafin
• Luận Án Tiến sĩ ngành Côn trùng học
• Bộ Phù du
• Bộ Cánh úp
• Bộ Cánh lông
• Luận Án Tiến sĩ ngành Sinh thái học
• Hệ sinh thái hồ Tây
• Sự chu chuyển của asen
• Luận Án Tiến sĩ ngành Hóa hữu cơ
• Loài thực vật thuộc họ rau răm
• Phương trình sai phân phi tuyến
• Tóm tắt dự thảo Luận án Tiến sĩ
• Luận án Tiến sĩ ngành Hóa môi trường
• Phương pháp vi chiết mao quản hở
• Luận án Tiến sĩ Vật lý
• Luận án Tiến sĩ ngành Vật lý địa cầu
• Spread F xích đạo
• Nghiên cứu giám định gen
• Nghiên cứu dân tộc học
• Luận án Tiến sĩ ngành Vi sinh vật
• Nghiên cứu sản xuất vaccine
• Dịch tễ học bệnh than
• Loài thực vật thuộc họ thầu dầu
• Loài thực vật thuộc chi ba bét
• Chất lượng xơ ở cây bông
• Phương pháp lắng đọng hơi hóa học
• Màng mỏng oxit bán dẫn
• Nguyên tố đất hiếm
• Luận án Tiến sĩ ngành Vật lý chất rắn
• Công nghệ chế tạo microlaser
• Tóm tắt Luận án Tiến sĩ Luận án Tiến sĩ
• Luận án Tiến sĩ Địa lí
• Cảnh quan lưu vực sông Lại Giang
• Tính đa dạng thực vậ
• Hệ sinh thái vườn quốc gia Phú Quốc
• Luận án Tiến sĩ Cơ học
• Luận án Tiến sĩ ngành Cơ học vật rắn
• Vật liệu cơ tính biến thiên
• Phi tuyến ổn định tĩnh