tailieunhanh - Ảnh hưởng của nhiệt độ đến cấu trúc và tính chất quang của màng mỏng ZnO được lắng đọng bằng phương pháp CVD từ tiền chất kẽm Axetylaxetonat

Bài viết nghiên cứu màng mỏng ZnO đƣợc lắng đọng trên đế thủy tinh bằng phƣơng pháp CVD từ tiền chất kẽm Axetylaxetonat với tác nhân phản ứng là hơi nƣớc. Cấu trúc và các tính chất quang của màng mỏng ZnO phụ thuộc vào nhiệt độ lắng đọng đƣợc trình bày và thảo luận. | Ảnh hưởng của nhiệt độ đến cấu trúc và tính chất quang của màng mỏng ZnO được lắng đọng bằng phương pháp CVD từ tiền chất kẽm Axetylaxetonat Tạp chí phân tích Hóa, Lý và Sinh học - Tập 20, Số 2/2015 ẢNH HƢỞNG CỦA NHIỆT ĐỘ ĐẾN CẤU TRÚC VÀ TÍNH CHẤT QUANG CỦA MÀNG MỎNG ZnO ĐƢỢC LẮNG ĐỌNG BẰNG PHƢƠNG PHÁP CVD TỪ TIỀN CHẤT KẼM AXETYLAXETONAT Đến tòa soạn 6 – 8 – 2014 Nguyễn Mạnh Hùng Nhà máy Z121 – Tổng cục CNQP – Bộ Quốc phòng Triệu Thị Nguyệt, Nguyễn Hùng Huy, Phạm Anh Sơn Khoa Hóa học – Trư ng Đại học Khoa học Tự nhiên – Đại học QGHN SUMMARY EFFECTS OF TEMPERATURE ON STRUCTURAL AND OPTICAL PROPERTIES OF ZnO THIN FILMS DEPOSITED BY CVD METHOD FROM ZINC ACETYLACETONATE PRECUSOR Zinc oxide thin films were prepared on glass substrate by CVD method from zinc acetylacetonate precursor. The effect of temperature on the structural and optical properties of the ZnO films was investigated by x-ray diffraction (XRD), SEM, UV-Vis and photoluminescence spectra methods. The structural analyses of the films indicate they are polycrystalline and have a wurtzite (hexagonal) structure. The ZnO films deposited at higher temperatures shows a stronger orientation of the crystallites with (0002) plane parallel to the substrate surface, as compared with the ZnO films deposited at lower temperatures. The measured direct band gap energy of ZnO films deposited at 250, 300 and 500oC were 3,29, 3,28 and 3,28 eV, respectively. 1. MỞ ĐẦU cấm trực tiếp rộng ( ở 300 K). Màng mỏng ZnO là một trong số các chất Nó có tính phát quang, truyền qua và áp bán dẫn hợp chất II – VI có cấu trúc tinh điện tốt, có độ bền hóa học cao, có các thể vuazit lục giác, có năng lƣợng vùng đặc tính quang điện tốt, có độ cứng và độ bám dính với đế vƣợt trội, không độc và 64 giá thành thấp. Những tính chất này đã lắng đọng trên đế thủy tinh. Các điều kiện làm cho ZnO trở thành vật liệu đa chức tạo màng nhƣ sau: năng đƣợc ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác .