tailieunhanh - Hệ số khuếch tán nội tại và hệ số khuếch tán tương quan của tạp chất bo trong silic

Trong quá trình khuếch tán tạp chất bo trong silic, sự tương tác giữa bo và sai hỏng điểm làm cho quá trình khuếch tán và hệ số khuếch tán của bo trong silic trở nên phức tạp. Bài viết giới thiệu các kết quả nghiên cứu về hệ số khuếch tán nội tại và hệ số khuếch tán tương quan của bo trong silic. | Hệ số khuếch tán nội tại và hệ số khuếch tán tương quan của tạp chất bo trong silic Nghiên cứu khoa học công nghệ HỆ SỐ KHUẾCH TÁN NỘI TẠI VÀ HỆ SỐ KHUẾCH TÁN TƯƠNG QUAN CỦA TẠP CHẤT BO TRONG SILIC Vũ Bá Dũng, Hồ Quỳnh Anh, Tống Bá Tuấn Tóm tắt: Trong quá trình khuếch tán tạp chất bo trong silic, sự tương tác giữa bo và sai hỏng điểm làm cho quá trình khuếch tán và hệ số khuếch tán của bo trong silic trở nên phức tạp. Vì vậy, việc xác định hệ số khuếch tán của bo trong silic không hề đơn giản. Tuy nhiên, ứng dụng lý thuyết nhiệt động lực không thuận nghịch, quá trình khuếch tán và hệ số khuếch tán của tạp chất bo trong silic có thể được lý giải, tính toán và khảo sát. Trong bài báo này, các tác giả đã giới thiệu các kết quả nghiên cứu về hệ số khuếch tán nội tại và hệ số khuếch tán tương quan của bo trong silic. Các kết quả đã cho thấy: i) Hệ số khuếch nội tại và hệ số khuếch tán tương quan của bo trong silic phụ thuộc vào nồng độ của bo và nồng độ sai hỏng điểm; ii) Khi nồng độ bo thấp, hệ số khuếch tán nội tại có dấu dương và bo khuếch thông thường trong Si; iii) Khi nồng độ bo cao, hệ số khuếch tán nội tại có dấu âm và bo khuếch lên dốc trong silic. Từ khóa: Khuếch tán bo trong silic, Hệ số khuếch tán nội tại, Hệ số khuếch tán tương quan. 1. MỞ ĐẦU Hệ số khuếch tán là thông số của quan trọng của quá trình khuếch tán. Trong các quá trình khuếch tán đơn giản, hệ số khuếch tán là một hằng số. Tuy nhiên, khuếch tán trong chất rắn nói chung và khuếch tán trong vật liệu bán dẫn là các quá trình phức tạp và hệ số huếch tán tạp chất trong mạng tinh thể chất bán dẫn phụ thuộc vào nhiều yếu tố khác nhau, như nồng độ tạp chất, nồng độ sai hỏng điểm trong Si. Khuếch tán tạp chất trong chất bán dẫn thường là các quá trình khuếch tán phức tạp đa thành phần, bao gồm tạp chất và sai hỏng điểm. Sự tương tác giữa các thành phần làm cho quá trình khuếch tán và hệ số khuếch tán của các thành phần trở nên phức tạp hơn nhiều

• Hoá học
• Khuếch tán bo trong silic
• Hệ số khuếch tán nội tại
• Hệ số khuếch tán tương quan
• Tạp chất bo trong silic
• Linh kiện bán dẫn
• Bài giảng các linh kiện bán dẫn
• Khái niệm các linh kiện bán dẫn
• Các linh kiện bán dẫn công suất
• Linh kiện bán dẫn công suất
• Phát triển điện tử công suất
• Điện tử công suất
• Sơ đồ chân linh kiện bán dẫn
• Giáo trình điện tử
• Sơ đồ bán dẫn
• Chân linh kiện bán dẫn
• Thiết bị bán dẫn
• Chương trình linh kiện điện tử
• Mô đun linh kiện điện tử
• Linh kiện điện tử
• Linh kiện điện tử 16
• Linh kiện thụ động
• Quang điện tử
• Thông tin quang
• Linh kiện bán dẫn quang điện tử
• Họ linh kiện bán dẫn phát quang
• Môi trường truyền sóng quang
• Bộ khuếch đại quang
• Giáo trình Linh kiện điện tử
• Vật liệu dẫn điện
• Linh kiện quang điện tử
• Điện tử công nghiệp
• Cấu kiện điện tử
• Điện trở
• Chất bán dẫn
• Linh kiện bán dẫn và vi mạch
• Công nghệ chế tạo vi mạch
• Linh kiện rời rạc
• Vi mạch lưỡng cực
• Vật liệu bán dẫn quang điện tử
• Bộ biến điệu quang
• Mô phỏng ba chiều
• Ba chiều linh kiện
• Sử dụng thuật Toán
• Thuật Toán Bicgstab
• Tiền điều kiện Jacobi
• Lời giải phương trình
• Vật liệu điện tử
• Giáo trình Mô đun
• Cấu tạo của tụ điện
• Transistor Trường FET
• Luận án tiến sĩ
• Luận án tiến sĩ Y học
• Sức khỏe nghề nghiệp
• Chức năng thị giác
• Lắp ráp linh kiện điện tử bán dẫn
• Linh kiện điện tử bán dẫn
• Tích hợp phương pháp Monte carlo
• Phương pháp phương trình cân bằng
• Mô phỏng linh kiện
• Phương trình cân bằng trong mô phỏng linh kiện
• Linh kiện đi ốt p i n bán dẫn GaAs
• Công nghệ thông tin quang
• Hệ phương trình Maxwell
• Tính chất điện quang
• Dụng cụ bán dẫn
• Động cơ điện một chiều
• Linh kiện quang
• Điôt bán dẫn
• Bài giảng Linh kiện bán dẫn
• Cấu tạo tranzito
• Hoạt động điôt
• Hoạt động tranzito
• Cấu tạo điôt
• Vật lý linh kiện
• Sensor bán dẫn
• Transistor trường
• Linh kiện điện quang
• Cảm biến bán dẫn
• Linh kiện na nô bán dẫn
• Phương trình Poisson
• Thuật toán GPBICG
• Mô phỏng linh kiện bán dẫn
• Phương trình Poisson ba chiều
• Phương pháp Monte – Carlo
• Giáo án Công nghệ 12
• Công nghệ 12
• Giáo án Công nghệ 12 Bài 4
• Bài 4 Linh kiện bán dẫn và IC
• Sơ đồ mạch điện đơn giản