tailieunhanh - Giáo trình Vật liệu bán dẫn: Phần 2

Phần 2 giáo trình Vật liệu bán dẫn cung cấp cho người học các kiến thức: Các bán dẫn nguyên tố, bán dẫn hợp chất AIIIBV, bán dẫn hợp chất AIBVI, các bán dẫn hợp chất vô cơ khác, bán dẫn vô định hình,. nội dung chi tiết. | VẬT UÊU BĂN DẰN CHƯƠNG 6 CÁC BÁN DẴN NGUYÊN TÓ Các bán Hn nguyên tố elemental semiconductors chù yéu lá các nguyên tó nhóm IV như silic Si germani Ge kim cương C . thiếc xám Sn các nguyên tố nhóm UI như Bo B . nhóm V như photpho P . nhóm VI như lưu huỳnh S selcn Sc telua Te nhóm VII như iot I . Trong các bán dân nguyỄn tổ chi có Si. Gc là được dùng như một vạt liệu bán dãn hực sự Se. Te với mức đô kém hơn nhiíu còn cac nguyên tó khác như a - Sn thiíc xám lưu huỳnh bo. photpho iot tuy có tính bán dỉn song ít khi được dùng như một vật liệu bán dân. các chít này có thể dùng làm tạp chất pha vào các chất bin dân như bo. phối pho. Chính vl vạy trong phin này chúng ta chi xít bốn bán dản nguyên tó. dó là Si. Gc. Se. Te. . SILIC Si . Nguyỉn tố silic Silic là nguyín tổ nhóm IV cùa bảng tuân hoàn Mendeleev được phát hiẹn nam 1824 . Nó dược xem là nguyên tó phò biên thứ hai sau oxy trong tự nhiên silic chiêm khoảng 1 4 khối lượng vô trái đít. Có rất nhidú hợp chít cùa silic trong đít đá và các loại quạng. Cát sõi và đất sét. các thành phán chù yếu cùa đát cũng là những hợp chat chứa Si. Hợp chất phổ bien nhai cùa Si là SiOj. SiO. nguyên chất thường gạp trong thạch anh. Si tụ do không gặp trong tự nhiên. Silic là nguyên tđ với nguyên từ số z 14 có cíu hlnh điện từ 1 s s p ííp2. có nguyên lử lượng 28 09. . Công nghẹ ché tạo silk đơn tinh thê Quy trinh công nghẹ chế tạo silic đơn tinh thế bao gổm các công doạn sau - Chế tạo silic thô cấp độ luyộn kim từ thạch anh - Chuydn silic cấp dọ luyện kim thành SÌI1C13 206 TíUỞng Đạl học Bách khoa Hô NÔI Chưang 6 - Cổc bán dằn nỹuyẽtì tố - Tinh chế SiHClj bàng phưong pháp chưng cất - Lâng dọng hoá học pha hơi CVD silic từ SiHClj sạch - Nuôi dơn tinh thể. 1. Chí tạo silic thó Nguyên liỊu dí chế tạo silic là thạch anh. Thạch anh là một dạng StOj tương dốì sạch tón tại trong tự nhiên. Hỏn hợp thạch anh. than đá coal than cốc coke và than cùi wood chips đuụi đưa vằo mọt lò hó quang ngâm như ỡ hình 6-1. Nhiệt độ trong hổ quang .