tailieunhanh - Chế tạo và khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đến tính chất quang và điện của màng dẫn điện trong suốt SnO2:Ga (GTO) loại p được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron DC
Màng SnO2 pha tạp Ga (GTO) được chế tạo từ bia gốm hỗn hợp (SnO2 + Ga2O3) bằng phương pháp phún xạ magnetron DC trong khí nền Ar ở áp suất torr. Ảnh nhiễu xạ tia X (XRD), phương pháp đo Hall Van Der Pauw và phổ truyền qua UV- Vis được sử dụng để khảo sát đặc trưng của màng. kết quả nghiên cứu. | TAÏP CHÍ PHAÙT TRIEÅN KH&CN, TAÄP 19, SOÁ T5- 2016 Chế tạo và khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ đến tính chất quang và điện của màng dẫn điện trong suốt SnO2:Ga (GTO) loại p được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron DC Đặng Hữu Phúc Phạm Văn Nhân Lê Văn Hiếu Lê Trấn Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, ĐHQG-HCM (Bài nhận ngày 29 tháng 08 năm 2015, nhận đăng ngày 02 tháng 12 năm 2016) TÓM TẮT Màng SnO2 pha tạp Ga (GTO) được chế tạo từ bia gốm hỗn hợp (SnO2 + Ga2O3) bằng phương pháp phún xạ magnetron DC trong khí nền Ar ở áp suất torr. Ảnh nhiễu xạ tia X (XRD), phương pháp đo Hall Van Der Pauw và phổ truyền qua UV- Vis được sử dụng để khảo sát đặc trưng của màng. Màng GTO được lắng đọng trực tiế p theo nhiê ̣t độ đế từ nhiê ̣t độ phòng đến 400 oC để khảo sát ảnh hưở ng của nhiê ̣t độ đến tính chất quang và điê ̣n, cấ u trúc tinh thể của màng. Sau đó màng GTO được lắ ng đọng ở nhiê ̣t độ đế 400 oC và được ủ ở các nhiê ̣t độ cao hơn Từ khóa: phún xạ magnetron DC, GTO, loại p để khắc phục hiện tượng bù giữa hai loại hạt tải. Tính chất điện loại p màng GTO được khẳng định bởi đặc trưng I-V của tiếp xúc dị thể pGTO/n-Si. Kết quả cho thấy, màng GTO có tính chất điện loại n ở nhiệt độ đế dưới 400 oC, không dẫn điện ở nhiệt độ đế 400 oC và có tính chất điện loại p tốt nhất với điện trở suất 0,63 .cm, độ linh động 3,01 cm2V-1s-1, nồng độ lỗ trống 3,3×1018 cm-3, ở nhiệt độ ủ tối ưu 550 oC. Màng GTO có cấu trúc tinh thể bốn phương rutile của màng SnO2 và có độ truyền qua trên 80 %. MỞ ĐẦU Oxide thiếc (SnO2) là một trong những vật liệu dẫn điện trong suốt quan trọng, được nhiều nhà khoa học quan tâm nghiên cứu do tính chất hóa lý nổi trội như có độ rộng vùng cấm lớn (3,6–4,3 eV), dẫn điện tốt, độ truyền qua cao trong vùng ánh sáng khả kiến, không độc hại, dư thừa trong tự nhiên, bền nhiệt và giá thành thấp. Tính chất vật lý của SnO2 được điều chỉnh theo nhu cầu ứng dụng bằng cách pha tạp các cation như galium (Ga) [8, 10],
đang nạp các trang xem trước
