tailieunhanh - Bài thuyết trình Màng mỏng ZnO pha tạp nguyên tố đất hiếm chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron

Bài thuyết trình Màng mỏng ZnO pha tạp nguyên tố đất hiếm chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron giới thiệu màng ZnO pha tạp, ứng dụng màng ZnO pha tạp, thí nghiệm và kết quả nghiên cứu màng mỏng ZnO pha tạp nguyên tố đất hiếm chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron. | Màng mỏng ZnO pha tạp nguyên tố đất hiếm chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron Phùng Văn Hưng Đào Vân Thuý Giới thiệu màng ZnO pha tạp Nguyên tố pha tạp Tính chất Phương pháp chế tạo - Nhóm III B Al Ga hay In - Nhóm IV Si Ge Ti Zr hay Hf - Halogen F - Trong suốt độ truyền qua cao - Điện trở suất thấp dẫn điện tốt - Phún xạ magnetron - Lắng đọng pha hơi hoá học hữu cơ kim loại MOCVD - Lắng đọng bằng laser xung PLD Các ứng dụng Màng mỏng ZnO pha tạp Al hoặc In được sử dụng như điện cực trong suốt cho màn hình dẹt như là màn hình điện phát quang EL và diod phát quang hữu cơ Màng ZnO pha tạp Al Ga hay B với một bề mặt thô ráp dùng làm điện cực trong suốt cho pin mặt trời Ơ-Si và CuInSe2 Người ta cho rằng màng mỏng ZnO pha tạp Al hoặc Ga là tốt nhất cho màng trong suốt dẫn điện Hướng nghiên cứu mới pha tạp nguyên tố đất hiếm Sc Y. vào ZnO đê tạo màng trong suốt dẫn .