tailieunhanh - Bài giảng Lắng tụ hơi hóa học tăng cường Plasma

Bài giảng Lắng tụ hơi hóa học tăng cường Plasma sau đây được biên soạn nhằm giúp cho các bạn nắm bắt được những kiến thức về CVD thường, CVD nhiệt; Plasma trong CVD, PECVD. Mời các bạn tham khảo bài giảng để bổ sung thêm kiến thức về lĩnh vực này. | Lắng Tụ Hơi Hóa Học Tăng Cường Plasma Màng AlN Nhôm nitride tạo bằng phương pháp CVD. Màng SiO2 tạo bằng phương pháp MOCVD Tiền chất TEOS Tetraethyloxysilic - Si O-C2H5 4 Cấu trúc màng đồng Cu tạo bằng phương pháp .