tailieunhanh - Bài giảng Phần 3: Giới thiệu về một số phương pháp tạo màng thông dụng

Bài giảng Phần 3: Giới thiệu về một số phương pháp tạo màng thông dụng được biên soạn nhằm cung cấp cho các bạn những kiến thức về khái niệm màng mỏng, ứng dụng của việc tạo màng, các phương pháp chế tạo màng mỏng và ưu nhược điểm của từng phương pháp. | PHẦN 3 GiỚI THIỆU VỀ MỘT SỐ PHƯƠNG PHÁP TẠO Mảng thông dụng Màng mỏng là gì Màng mỏng Thin film là một hay nhiều lớp vật liệu được chế tạo sao cho chiều dày nhỏ hơn rất nhiều so với các chiều còn lại độ dày của màng mỏng có thể lên đến hàng chục hay hàng trăm nanomet Ứng dụng của việc tạo màng Hiện nay màng mỏng đang là một lĩnh vực nghiên cứu mạnh mẽ của ngành khoa học vật liệu vật lý chất rắn vật lý ứng dụng. với nhiều khả năng ứng dụng to lớn trong đời sống hàng ngày và trong sản xuất. VD màng nhiệt sắc VO2 màng điện sắc V2O5 WO3. màng chống phản xạ SiO2 MgF2 . màng chống tia cực tím màng chống tia hồng ngoại . Các phương pháp chế tạo màng mỏng Thông thường các màng mỏng để có thể sử dụng đều được chế tạo trên các lớp đế là các khối vật liệu đơn tinh thể ví dụ thủy tinh Si MgO Ge GaAs thạch anh. . Kỹ thuật mạ điện Kỹ thuật phun tĩnh điện Bay bốc nhiệt trong chân không Phún xạ Magnetron DC Epitaxy chùm phân tử Lắng đọng chùm laser Lắng đọng pha hơi hoá học CVD Phương pháp .