tailieunhanh - Báo cáo tiểu luận Vật lý: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng ZnO loại n

Báo cáo tiểu luận Vật lý: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng ZnO loại n bao gồm những nội dung về giới thiệu màng ZnO, các phương pháp xác định tính chất của màng ZnO, thực nghiệm kết quả và kết luận. Mời các bạn tham khảo tài liệu để nắm bắt nội dung chi tiết. | ĐẠI HỌC QUỐC GIA TRƯỜNG ĐH KHOA HỌC Tự NHIÊN KHOA VẬT LÝ BM VẬT LÝ ỨNG DỤNG MÔN CÁC PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM CHUYÊN NGÀNH BẢO CẢO TIỂU LUẬN NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MANG MONG ZnO LOẠI n HVTH Võ Kiên Trung Chí Minh ngày 25 tháng 04 năm 2010 I. GIỚI THIỆU MÀNG ZnO HV Võ Kiên Trung Lớp Cao học VTĐT Khóa 19 Ngày nay màng mỏng oxyt dẫn điện trong suốt TCO có nhiều ứng dụng như kỹ thuật màn hình phẳng kính kiến trúc năng lượng mặt trò trong những vật liệu làm màng mỏng thông dụng hiện nay là ZnO pha tạp với các đặc tính như thân thiện môi truòng nguồn dồi dào độ trong suốt vùng khả kiến và độ dẫn điện cao . Có nhiều tạp chất có thể pha vào ZnO như Al Ga In nhiều phương pháp. Nhiều công trình nghiên cứu cho thấy màng ZnO-Al phún xạ bằng phương pháp magnetron đạt được tính chất cao về độ dẫn điện cũng như độ truyền qua tuy nhiên do cách bố trí bia-đế để tránh sự bắn phá của ion âm nên vận tốc phún xạ thấp tiêu tốn vật liệu nhiều cũng như không có độ bền nhiệt khi xử lý nhiệt độ cao trong môi trưòng không khí do đó màng ZnO-Ga đang được nghiên cứu để khắc phục các nhược điểm bài này xin giới thiệu màng mỏng ZnO pha Ga bằng phương pháp phún xạ magnetron. 1. Một số tính chất c ủa màng ZnO Ga 1. đặc trưng cơ bản của ZnO ZnO có 3 dạng cấu trúc tinh thể haxagonal wurtzite zinc blende rocksalt. Trong đó cấu trúc wurtzite có tính chất nhiệt động lực ổn định c a3 Hình 1 Cấu trúc wurtzite của ZnO Một số thông số của ZnO Tính chất cơ bản Fundamental Properties Khối lượng riêng Density 5 67 g cm3 Khối lượng phân tử Molecular weight 81 38 u Bán kính ion Ion radii o rzn 0 60 Ả o rO2- 1 40 Ả Cấu hình điện tử Electronic configuration Zn Ar 3d104s2 O He 2s22p4 2 HV Võ Kiên Trung Lớp Cao học VTĐT Khóa 19 Mạng tinh thể Crystal lattice Hexagonal Wurzit Space group P63mc - C46v Hằng số mạng Lattice constants o a 3 24 Ả o c 5 20 Ả Tính chất điện Electronic Properties Độ rộng vùng cấm Band gap o Eg eV ở 300 K o Eg eV ở 6 K Hall mobility o pna 70 .