Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Sức khỏe - Y tế
Văn bản luật
Nông Lâm Ngư
Kỹ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Giới thiệu
Đăng ký
Đăng nhập
Tìm
Danh mục
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Y tế sức khỏe
Văn bản luật
Nông lâm ngư
Kĩ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
Thông tin
Điều khoản sử dụng
Quy định bảo mật
Quy chế hoạt động
Chính sách bản quyền
Giới thiệu
Đăng ký
Đăng nhập
0
Trang chủ
Kỹ Thuật - Công Nghệ
Tự động hoá
Modeling of failure mechanisms for optimized mems cad
Đang chuẩn bị liên kết để tải về tài liệu:
Modeling of failure mechanisms for optimized mems cad
Quang Thịnh
66
4
pdf
Đang chuẩn bị nút TẢI XUỐNG, xin hãy chờ
Tải xuống
Modeling of failure mechanisms for optimized mems cad : design , fabrication and chatacterization of in situ test benches | 3E103.P MODELING OF FAILURE MECHANISMS FOR OPTIMIZED MEMS CAD DESIGN FABRICATION AND CHARACTERIZATION OF IN SITU TEST BENCHES Olivier Millet Vincent Agachea Bernard Legrand Dominique Collardb and Lionel Buchaillot Institut d Electronique de Micro-électronique et de Nanotechnologie IEMN3 and Center for International Research on MicroMechatronics CIRMMb IEMN. UMR CNRS 8520. Avenue Poincare. Cité scientifique. 59652 Villeneuve d Ascq France Tel. -1-0033 3 20 19 78 38 Fax 0033 3 20 19 78 84 E-mail lionel.buchaillot@isen.fr ABSTRACT PRINCIPLE This work considers the reliability of surface microfabricated structures and particularly the dynamic response of structural layers during operations in order to develop a statistical modelling of failure mechanisms for micro-actuator. In situ test benches have been designed and fabricated allowing to applied elementary solicitations traction bending and torsion to representative samples. Gold in situ doped pdlysilicon and polysilicon doped by diffusion are used as structural layers. These devices are useful to study the fatigue phenomenon. Characterization and fatigue tests have been performed in a vacuum chamber under different environmental and stimuli conditions. Moreover a theoretical analysis using Finite Elements Method has been achieved. INTRODUCTION The next generation of CAD programs for MEMS will have to ensure a precise evaluation of the system lifetime by anticipating the failure mechanisms. The principle is to develop a statistical modeling indicating the probability that a failure mechanism occurs via the determination of statistical rules describing probability of failures generated in each elementary structure beam etc. during the operation of the whole system 1 2 3 . Then this work aims at understanding the fatigue phenomenon for elementary structures and to describe it statistically according to the design the use and the environment of the microsystem. Our activity deals with the design and the realization of .
TÀI LIỆU LIÊN QUAN
Ebook Multiphysics modeling using COMSOL: Part 1
Ebook 3D automotive modeling: An insider’s guide to 3D car modeling and design for games and film - Part 1
Ebook 3D automotive modeling: An insider’s guide to 3D car modeling and design for games and film - Part 2
Lecture Biomedical Signal Processing and Modeling: Modeling Biomedical Systems - Nguyen Cong Phuong
Ebook Fundamentals of algebraic modeling (5th edition): Part 2
Chapter 4: Object-Oriented Data Modeling
Ebook Multiphysics modeling using COMSOL: Part 2
Lecture Systems analysis and design with UML (3/e) - Chapter 5: Functional modeling
Lecture Systems analysis and design with UML (3/e) - Chapter 5: Functional modeling
Lecture Financial modeling - Topic 16: Advanced financial modeling
crossorigin="anonymous">
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.