Đang chuẩn bị liên kết để tải về tài liệu:
Bài giảng Ellipsometry - Các loại Ellipsometry

Ellipsometry là 1 kỹ thuật nhạy để xác định các tính chất của bề mặt và màng mỏng. Để hiểu hơn về phương pháp này mời các bạn tham khảo bài giảng Ellipsometry - Các loại Ellipsometry sau đây. Với các bạn chuyên ngành Vật lý thì đây là tài liệu hữu ích. | ELLIPSOMETRY Ellipsometry là 1 kỹ thuật nhạy để xác định các tính chất của bề mặt và màng mỏng. Nguyên tắc chung của phương pháp dựa trên sự thay đổi trạng thái phân cực của ánh sáng khi phản xạ. Chùm sáng phân cực thẳng đến nghiêng góc với mặt mẫu trở thành phân cực ellip khi phản xạ. Có nhiều cách bố trí thực nghiệm để đo sự thay đổi của trạng thái phân cực đó. Rotating Analyzer Ellipsometer RAE Polarizer Sample Rotating Polarizer Ellipsometer RPE Analyzer Sample Rotating Compensator Ellipsometer RCE Polarizer - Sample - Analyzer Phase Modulation Ellipsometer PME Compensator continuously rotating Polarizer continuously rotating Analyzer continuously rotating Null Ellipsometer NE Polarizer Compensator Polarizer Modulator Sample Analyzer Sample Analyzer Mỗi cách bố trí đều có ưu điểm và nhược điểm riêng. Tùy thuộc vào yêu cầu và khả năng cụ thể mà chọn phương pháp thích hợp. rên thực tê có nhiều cách bố trí hệ đo. .